[發明專利]固體靶裝置

有效

• 申請號: 202211056343.0
• 申請日: 2022-08-31
• 公開（公告）號: CN115134984B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 魏江華;陳永華;張洋;丁開忠;張磊;譚雷;丁曾飛;邵國慶
• 申請（專利權）人: 合肥中科離子醫學技術裝備有限公司
• 主分類號: H05H6/00
• 分類號: H05H6/00;A61B6/00;A61N5/10;G21G1/10
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 于騰昊

1.一種固體靶裝置，其特征在于，包括：

準直器(1)，所述準直器(1)具有準直通道(11)，所述準直通道(11)具有入口端(12)和出口端(13)，從所述入口端(12)向所述出口端(13)的方向上，至少一部分所述準直通道(11)的截面積減小；

真空膜(2)，所述真空膜(2)位于所述出口端(13)，且所述真空膜(2)至少用于對所述準直通道(11)內的真空區域進行密封；

靶體定位結構，所述靶體定位結構位于所述真空膜(2)的背離所述出口端(13)的一側，且所述靶體定位結構用于對靶體（39）進行定位導向；

夾緊結構，所述夾緊結構位于所述靶體定位結構的背離所述準直器(1)的一側，所述夾緊結構適于靠近或遠離所述靶體定位結構，所述夾緊結構通過擠壓所述靶體定位結構夾緊所述靶體（39）。

2.根據權利要求1所述的固體靶裝置，其特征在于，還包括第一冷卻法蘭(5)，所述第一冷卻法蘭(5)具有第一冷卻通道(51)，所述第一冷卻通道(51)與所述準直通道(11)正對，所述真空膜(2)包括第一膜體(21)和第二膜體(22)，所述第一膜體(21)封蓋所述第一冷卻通道(51)的一端，所述第二膜體(22)封蓋所述第一冷卻通道(51)的另一端，所述第一冷卻通道(51)還具有第一介質接口(52)。

3.根據權利要求1所述的固體靶裝置，其特征在于，所述夾緊結構包括夾緊殼體(41)，所述夾緊殼體(41)內設有第二冷卻腔(42)，所述第二冷卻腔(42)具有第二冷卻介質接口(43)。

4.根據權利要求3所述的固體靶裝置，其特征在于，還包括夾緊驅動裝置(44)，所述夾緊驅動裝置(44)具有夾緊推桿(45)，所述夾緊推桿(45)可伸縮以靠近或遠離所述靶體定位結構，所述夾緊殼體(41)與所述夾緊推桿(45)固定相連。

5.根據權利要求4所述的固體靶裝置，其特征在于，所述靶體定位結構包括導向板(31)和承載板(32)，所述導向板(31)具有導向槽(33)，所述承載板(32)適于靠近或遠離所述導向板(31)。

6.根據權利要求5所述的固體靶裝置，其特征在于，所述夾緊推桿(45)穿過所述導向板(31)，且所述導向板(31)的朝向所述準直器(1)的一側設有復位彈簧(34)，在所述導向板(31)擠壓所述復位彈簧(34)時，所述復位彈簧(34)適于對所述導向板(31)施加使所述導向板(31)遠離所述準直器(1)的復位力。

7.根據權利要求5所述的固體靶裝置，其特征在于，還包括承載板驅動機構，所述承載板驅動機構具有承載推桿(36)，所述承載推桿(36)可伸縮以靠近或遠離所述導向板(31)，所述承載板(32)與所述承載推桿(36)固定相連。

8.根據權利要求5所述的固體靶裝置，其特征在于，還包括靶體驅動機構，所述靶體驅動機構位于所述導向板(31)的上方且具有靶體推桿(38)，所述靶體推桿(38)可伸縮以靠近或遠離所述導向板(31)。

9.根據權利要求2所述的固體靶裝置，其特征在于，還包括準直法蘭(14)，所述準直法蘭(14)具有加速器連接端(15)，所述準直器(1)安裝于所述準直法蘭(14)，且所述準直器(1)與所述準直法蘭(14)之間設有絕緣墊片(16)，所述第一冷卻法蘭(5)與所述準直法蘭(14)固定相連。

10.根據權利要求2所述的固體靶裝置，其特征在于，所述夾緊結構的朝向所述靶體定位結構的一端設有夾緊密封圈(46)，所述第一冷卻法蘭(5)的背離所述準直器(1)的一側與靶體法蘭(61)相連，所述靶體法蘭(61)具有與所述準直通道(11)正對的法蘭通道，所述靶體法蘭(61)的朝向所述靶體定位結構的一端設有靶體密封圈(62)。

11.根據權利要求1所述的固體靶裝置，其特征在于，所述準直器(1)包括多片準直體(17)，所述多片準直體(17)沿所述準直通道(11)的周向均勻布置。