[發(fā)明專利]一種超聲換能器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202211053008.5 | 申請(qǐng)日: | 2022-08-31 |
| 公開(公告)號(hào): | CN115445896A | 公開(公告)日: | 2022-12-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 朱春玲;王巖;王淵;朱程香;趙寧;陸夕云 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 南京航空航天大學(xué) |
| 主分類號(hào): | B06B1/06 | 分類號(hào): | B06B1/06 |
| 代理公司: | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人: | 徐曉鷺 |
| 地址: | 210016 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 超聲 換能器 | ||
本發(fā)明公開了一種超聲換能器,該換能器結(jié)構(gòu)包括:黃銅外殼以及在黃銅外殼內(nèi)部由前向后依次是匹配層、環(huán)形電極層、壓電元件、電極層、背襯層、環(huán)氧樹脂層、導(dǎo)線以及部分在黃銅外殼里的SMA轉(zhuǎn)接頭。其特征在于,匹配層和壓電元件之間的電極層采用環(huán)形銅箔電極,環(huán)形電極邊上引出條形電極帶,方便地線引線從側(cè)面連接,避免地線在壓電元件表面引線而導(dǎo)致?lián)Q能器晶元不平整;環(huán)形結(jié)構(gòu)能夠使匹配層直接與環(huán)內(nèi)壓電元件接觸,減少電極層結(jié)構(gòu)對(duì)超聲換能器器信號(hào)干擾,改善超聲脈沖回波信號(hào)的信噪比。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及超聲換能器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及超聲換能器電極層及匹配層設(shè)計(jì)方法。
背景技術(shù)
超聲換能器作為無(wú)損檢測(cè)技術(shù)的核心器件,具有高靈敏度、高分辨率的特點(diǎn),采用超聲換能器進(jìn)行厚度測(cè)量時(shí),其脈沖回波信號(hào)的好壞決定了厚度識(shí)別的精度,而換能器內(nèi)部每一層結(jié)構(gòu)都對(duì)最終探測(cè)性能產(chǎn)生很大的影響。為制作高精度探測(cè)的超聲換能器,需對(duì)壓電材料厚度進(jìn)行打磨,因此壓電材料表面需重新鍍電極。
目前常用鍍電極方式為離子濺射和刷銀漿等方式,離子濺射法鍍電極通過(guò)真空負(fù)壓下濺射如金離子的方式在晶元表面鍍膜,此方法工藝復(fù)雜、成本較高,且在添加匹配層后地線連接通常在電極層表面,影響匹配層平整度,導(dǎo)致?lián)Q能器產(chǎn)生的脈沖回波信號(hào)雜波多、信噪比低,使得超聲換能器探測(cè)精度低。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明針對(duì)壓電材料表面電極引線導(dǎo)致超聲換能器探測(cè)精度問(wèn)題,提出采用環(huán)形電極從側(cè)面引出條形帶以便地線連接,避免電極層表面引線使得匹配層不平整,從而產(chǎn)生信號(hào)干擾;不僅如此,采用環(huán)形電極能夠?yàn)槠ヅ鋵优c壓電晶元直接接觸提供方便,減少了電極層對(duì)探測(cè)信號(hào)的影響。
為了實(shí)現(xiàn)上述效果,本發(fā)明提出了一種超聲換能器,所述換能器結(jié)構(gòu)包括:黃銅外殼以及在黃銅外殼內(nèi)部由底部向上依次同軸分布的匹配層、環(huán)形電極層、壓電元件、電極層、背襯層、環(huán)氧樹脂層、導(dǎo)線以及部分在黃銅外殼里的SMA轉(zhuǎn)接頭;所述SMA轉(zhuǎn)接頭通過(guò)第一導(dǎo)線連接到環(huán)氧樹脂層上;
所述電極為銅箔環(huán)形電極,側(cè)面有條形帶的伸出部,所述條形帶的伸出部與第二導(dǎo)線相連,所述第二導(dǎo)線另一端連接到第一導(dǎo)線上,再與所述SMA轉(zhuǎn)接頭相連。
進(jìn)一步的,所述匹配層為凸臺(tái)狀,位于環(huán)形電極前方,匹配層凸臺(tái)的外徑與環(huán)形電極的內(nèi)徑匹配。
進(jìn)一步的,所述背襯層采用導(dǎo)電材料E-SOLDER 3022制成,用于吸收壓電元件振動(dòng)向后產(chǎn)生的聲波。
進(jìn)一步的,所述壓電元件用于產(chǎn)生超聲波信號(hào),該壓電元件為厚度振動(dòng)模式,根據(jù)目標(biāo)中心頻率進(jìn)行厚度打磨,表面無(wú)電極。
進(jìn)一步的,所述匹配層結(jié)構(gòu)呈凸臺(tái)狀,匹配層透過(guò)環(huán)形電極內(nèi)環(huán)直接與壓電元件接觸。
進(jìn)一步的,背襯材料為導(dǎo)電性材料,導(dǎo)線直接連接在背襯表面。
本申請(qǐng)公開的超聲換能器,相比于現(xiàn)有壓電材料表面電極鍍膜方法有以下優(yōu)點(diǎn):
1.本發(fā)明的環(huán)形電極側(cè)面引出條形帶以供換能器地線連接,不破壞匹配層表面平整度,因此電極表面引線不會(huì)對(duì)超聲信號(hào)造成干擾。
2.本發(fā)明的環(huán)形電極層可避免電極厚度對(duì)超聲探測(cè)信號(hào)的影響,凸臺(tái)狀的匹配層可與壓電材料直接接觸。
3.本發(fā)明的環(huán)形電極層結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制作簡(jiǎn)易,且成本低,采用此方法制作的電極層不影響超聲換能器探測(cè)性能。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明環(huán)形電極超聲換能器的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本發(fā)明環(huán)形電極結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本發(fā)明凸臺(tái)狀匹配層結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下通過(guò)附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
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