[發明專利]一種綠色溶劑中膠體納米晶的無膠光學圖案化方法

在審

• 申請號: 202211052499.1
• 申請日: 2022-08-31
• 公開（公告）號: CN115308997A
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 王元元;肖鵬偉;張舟帆;羅煥煥
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 杜靜靜

1.一種綠色光敏納米晶體涂料，其特征在于，包括納米晶體和光敏配體；所述光敏配體含有與納米晶體配位的基團，以及甲基丙烯酰或二苯甲酮光敏基團。

2.如權利要求1所述的綠色光敏納米晶體涂料，其特征在于，所述與納米晶配位的基團為羧酸根、氨基、巰基中任意一種或幾種。

3.如權利要求1所述的綠色光敏納米晶體涂料，其特征在于，

所述光敏配體為2-(3-巰基丙酰氧基)乙基甲基丙烯酸酯、5-[3-甲氧基-4-(2-甲基丙-2-烯酰氧基)苯基]戊-4-烯酸、(2E)-3-(3-甲氧基-4-{2-[(2-甲基丙-2-烯酰基)氧基]乙氧基}苯基)丙-2-烯酸、4-(4-(甲基丙烯酰氧基)苯氧基)-4-氧代丁酸、單-2-(甲基丙烯酰氧基)乙基丁二酸酯、(E)-6-(4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)-4-氧代己-5-烯酸、(E)-6-(4-(甲基丙烯酰氧基)-3-甲氧基苯基)-4-氧代己-5-烯酸、(E)-6-(4-(甲基丙烯酰氧基)-3,5-二甲氧基苯基)-4-氧代己-5-烯酸、2-(6-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙氧基)-2-氧代-2H-色烯-3-基)乙酸、苯基-[4-(10-巰基癸氧基)苯基]甲酮、苯基-[4-(10-巰基癸硫基)苯基]甲酮、4-吡咯烷基-苯基-[4-(10-巰基癸硫基)苯基]甲酮中任意一種。

4.如權利要求1所述的綠色光敏納米晶體涂料，其特征在于，所述納米晶體為CdS、CdSe、CdSe/ZnS、CdSeS/ZnS、CdSe/CdZnSeS，CdSe/CdZnSeS/ZnS、CdZnS/ZnS、CdZnSe/ZnS、ZnSe/ZnS、CdSe/CdS、CdSeS/CdS、InP、InP/ZnS、InP/ZnSe/ZnS、InGaP/ZnSe/ZnS、CdTe、PbS、PbSe、PbS/CdS、Fe₂O₃、Fe₃O₄、TiO₂、ITO、In₂O₃、CsPbBr₃、MAPbBr₃中任意一種，所述納米晶體包含原始有機配體，所述原始有機配體為脂肪鏈大于8個碳的羧酸、膦酸、胺中任意一種或幾種的組合。

5.如權利要求1-4任意一項所述的綠色光敏納米晶體涂料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：向表面帶有有機配體的納米晶體溶液中加入光敏配體，所得混合物劇烈攪拌或搖動制得沉淀物，即為產物。

6.如權利要求5所述的制備方法，其特征在于，在惰性氛圍下，將25mg/mL的表面帶有有機配體的納米晶體溶液與光敏配體按照10:1的體積比混合，所得混合物劇烈攪拌或搖動，直至生成沉淀物，即為產物。

7.一種綠色光敏納米晶體油墨的制備方法，其特征在于，將權利要求1-4任意一項所述的綠色光敏納米晶體涂料分散在綠色溶劑中，所述綠色溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯、辛烷、二乙二醇乙醚醋酸酯或丙二醇甲醚。

8.如權利要求7所述的制備方法，其特征在于，將所述綠色光敏納米晶體涂料分散在綠色溶劑中形成穩定的膠體溶液中，綠色光敏納米晶涂料的濃度為10～25mg/mL。

9.一種綠色溶劑中膠體納米晶的無膠光學圖案化方法，其特征在于，包括以下步驟，利用權利要求7所述綠色光敏納米晶體油墨，在基底上制備連續致密且厚度可控的納米晶體薄膜；將刻有特定圖案的掩模版壓在薄膜上，在紫外光源下曝光，在顯影液中進行顯影。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述基底為硅片、石英片或玻璃片；所述顯影液為丙二醇甲醚醋酸酯，乙二醇甲醚醋酸酯、辛烷、二乙二醇乙醚醋酸酯或丙二醇甲醚。