[發明專利]定位設備、光刻設備和物品制造方法

在審

• 申請號: 202211052047.3
• 申請日: 2022-08-30
• 公開（公告）號: CN115755529A
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 小堀徹
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 朱巧博

本發明提供了定位設備、光刻設備和物品制造方法。定位設備包括引導件、能夠在被引導件引導的同時沿第一方向移動的可動構件、和被構造成沿第一方向驅動可動構件的驅動器。驅動器包括沿第一方向延伸的進給螺桿、被構造成與進給螺桿螺紋地接合并且隨著進給螺桿的旋轉而沿第一方向移動的螺母、和被構造成連接螺母與可動構件的連接裝置。連接裝置包括中空桿，所述中空桿帶有連接至可動構件的一端和連接至螺母的另一端，并且進給螺桿被插入至中空桿的中空部分中。

技術領域

本發明涉及定位設備、光刻設備和物品制造方法。

背景技術

在用于機床、測量設備、機器人、半導體制造設備等的定位設備中，可以使用進給螺桿來使工作臺移動。在這種情況下，如果與進給螺桿螺紋地接合的螺母被固定至工作臺，則可以獲得最簡單的構造。然而，進給螺桿的彎曲影響被直接傳遞至工作臺側，從而導致進給準確度降低。

為了防止這種情況，一些定位設備使用插置在工作臺與進給螺桿的螺母之間的球面軸承，而不是固定工作頭與進給螺桿的螺母(例如，日本專利公開No.5-280609)。

然而，傳統技術中球面軸承的使用無法完全應對線性引導件與進給螺桿之間的錯位。例如，根據日本專利公開No.5-280609中所公開的技術，可以應對俯仰和偏航相對于工作臺的前進方向的角度錯位。然而，不能應對在與相對于工作臺的前進方向的水平方向正交的軸線的方向上的偏心以及在與相對于工作臺的前進方向的豎直方向正交的軸線的方向上的偏心。因此，對于需要曝光設備等所需的精確定位的平臺，可能會出現不可忽略的水平的停止位置誤差。

發明內容

本發明提供了一種有利于提高定位準確度的技術。

本發明在其第一方面中提供了一種定位設備，包括：引導件；可動構件，其能夠在被引導件引導的同時沿第一方向移動；以及驅動器，其被構造成沿第一方向驅動可動構件，其中驅動器包括沿第一方向延伸的進給螺桿、被構造成與進給螺桿螺紋地接合并且隨著進給螺桿的旋轉沿第一方向移動的螺母、和被構造成連接螺母和可動構件的連接裝置，其中連接裝置包括中空桿，中空桿帶有連接至可動構件的一端和連接至螺母的另一端，并且進給螺桿被插入至中空桿的中空部分中。

本發明在其第二方面中提供了一種光刻設備，包括根據上述第一方面的定位設備、以及安裝在定位設備的可動構件上的基板卡盤，其中光刻設備被構造成將原件的圖案轉印至由基板卡盤保持的基板上。

本發明在其第三方面中提供了一種物品制造方法，包括使用根據上述第二方面的光刻設備將圖案轉印至基板上、以及處理帶有所轉印的圖案的基板，其中由經處理的基板制造物品。

根據對示例性實施例的以下描述(參考附圖)，本發明的進一步特征將變得顯而易見。

附圖說明

圖1為示出定位設備的構造的立體圖；

圖2為沿著圖1中的線C-C’截取的主要部分的剖視圖；

圖3A和3B為示出驅動器的安裝誤差的具體示例的視圖；和

圖4為示出球面軸承的構造示例的視圖。

具體實施方式

在下文中，將參考附圖詳細地描述實施例。注意，以下實施例不旨在限制所要求保護的發明的范圍。在實施例中描述了多個特征，但是不限于發明需要所有這些特征，并且可以適當地組合多個這樣的特征。此外，在附圖中，對相同或相似的構造提供相同的附圖標記，并且省略對所述構造的冗余描述。

圖1為示出根據實施例的定位設備100的構造的立體圖。圖2為沿著圖1中的線C-C’截取的主要部分的剖視圖。