[發明專利]一種硅片燒結爐氣體抽排裝置

在審

• 申請號: 202211040357.3
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN115338219A
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發明（設計）人: 沈曉;金龍;姬良莉
• 申請（專利權）人: 江蘇格林保爾光伏有限公司
• 主分類號: B08B15/00
• 分類號: B08B15/00;B08B1/00;F27D17/00;A62C2/00
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 劉松

本發明公開了一種硅片燒結爐氣體抽排裝置，包括抽排裝置的吸風罩、位于吸風罩內的清理機構和位于吸風罩上方的過濾裝置，所述清理機構包括升降板、下端螺紋貫穿升降板的螺紋桿、位于升降板外側的多個連接板和角板，所述螺紋桿上端通過軸承連接穿過吸風罩且與電機連接，所述連接板與升降板活動連接，且所述角板與相鄰的連接板活動連接且與升降板組成田字結構，所述連接板和角板的側壁與吸風罩的內側壁滑動接觸，所述過濾裝置包括過濾組件，所述過濾組件包括儲存倉和位于儲存倉上敞口的蓋板，所述儲存倉內設置有倒U管和多個輸氣管，本發明解決現有的片燒結爐氣體抽排裝置極易將火焰抽取到吸風罩和管道內，并引燃吸風罩和管道內側壁油脂的問題。

技術領域

本發明涉及燒結爐氣體抽排技術領域，具體為一種硅片燒結爐氣體抽排裝置。

背景技術

硅片,是制作集成電路的重要材料,通過對硅片進行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力。科學技術的發展不斷推動著半導體的發展。在硅片生產中，需要經過多重生產工藝的加工才能制作出成品。

其中包括硅片的燒結工藝，硅片需要依次經烘干區、燒結區以及冷卻區，烘干區通常為一端供給熱風另一端連接燃燒塔的烘干爐腔，專利號為CN208349863U的中國專利，公開了一種硅片燒結爐氣體抽排裝置，該氣體抽排裝置包括抽風機、開口朝下的吸風罩、吸風管及出風管，吸風罩設于烘干爐腔和燒結爐腔之間，燒結爐腔上靠近吸風罩的一側腔壁上貫穿有缺口，吸風罩的左端穿過缺口位于燒結爐腔內。

上述專利解決有機廢氣隨輸送裝置溢出，造成車間的環境污染和有機廢氣會在燒結爐腔內壁上凝結成的油污遇火燃燒的問題，但是，吸風罩和管道在輸送有機廢氣的同時其內側壁也會粘附大量的油脂，同時吸風罩與燒結爐腔相通，在抽風機作用下有機廢氣流通至吸風罩和管道，同時燒結爐腔內的火焰也會流通至吸風罩和管道，極易造成吸風罩和管道內油脂燃燒發生安全事故，為了解決上述問題，本發明人設計了本方案。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅片燒結爐氣體抽排裝置，旨在改善現有的片燒結爐氣體抽排裝置極易將火焰抽取到吸風罩和管道內，并引燃吸風罩和管道內側壁油脂的問題。

本發明是這樣實現的：

一種硅片燒結爐氣體抽排裝置，包括抽排裝置的吸風罩、位于吸風罩內的清理機構和位于吸風罩上方的過濾裝置，清理機構包括升降板、下端螺紋貫穿升降板的螺紋桿、位于升降板外側的多個連接板和角板，螺紋桿上端通過軸承連接穿過吸風罩且與電機連接，連接板與升降板活動連接，且角板與相鄰的連接板活動連接且與升降板組成田字結構，連接板和角板的側壁與吸風罩的內側壁滑動接觸，過濾裝置包括過濾組件，過濾組件包括儲存倉和位于儲存倉上敞口的蓋板，儲存倉內設置有倒U管和多個輸氣管，多個輸氣管并聯安裝在儲存倉內底板上，倒U管的一端與多個輸氣管連接且另一端密封穿過儲存倉的底板與抽風機連接，且抽風機與吸風罩的頂板連接，儲存倉內儲存有去油劑且倒U管最上端伸入去油劑液面，抽風機工作將吸風罩的氣體輸入去油劑中且脫離去油劑的氣體通過蓋板上的管道與廢氣燃燒塔連接。