[發明專利]一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭

在審

• 申請號: 202211032345.6
• 申請日: 2022-08-26
• 公開（公告）號: CN115287618A
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發明（設計）人: 游錦山
• 申請（專利權）人: 中科納微真空科技（合肥）有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，用于使內部有磁棒（25）的靶材（26）轉動并與外部電源電連接，包括用于連接靶材（26）以驅動靶材（26）轉動的驅動軸（20），其特征在于，所述驅動軸（20）為導電材料制成，還包括用于實現電連接的電觸頭（2），所述電觸頭（2）、驅動軸（20）兩者之中一者成型有錐孔部、另一者成型有錐面，電觸頭（2）、驅動軸（20）之間通過錐面與錐孔部保持電接觸，且電觸頭（2）不隨驅動軸（20）轉動，外部電源依次通過電觸頭（2）、驅動軸（20）與靶材（26）電連接。

2.根據權利要求1所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述電觸頭（2）的端部成型為錐面，所述驅動軸（20）內部中空并成型有錐孔部，所述電觸頭（2）設于驅動軸（20）內，且電觸頭（2）其錐面與驅動軸（20）的錐孔部的孔壁保持電接觸。

3.根據權利要求1或2所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述電觸頭（2）、驅動軸（20）均為導電金屬材料制成，其中驅動軸（20）材料硬度大于電觸頭（2）材料硬度。

4.根據權利要求2所述一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，還包括可導電的端頭外殼（17），所述驅動軸（20）轉動安裝于端頭外殼（17）內，驅動軸（20）一端穿出端頭外殼（17）并與所述靶材（26）一端固定連接，靶材（26）另一端安裝有端封部，所述端封部與靶材（26）另一端相對轉動配合，或者端封部隨靶材（26）轉動；

所述端頭外殼（17）中還固定有可導電的中央支撐（1），所述中央支撐（1）中心固定連接有連接軸（1.1），所述連接軸（1.1）貫穿驅動軸（20）且連接軸（1.1）軸端與靶材（26）內部的磁棒（25）一端固定連接；所述電觸頭（2）非轉動套裝于連接軸（1.1）上，且電觸頭（2）與中央支撐（1）電連接，外部電源依次通過端頭外殼（17）、中央支撐（1）、電觸頭（2）、驅動軸（20）與靶材（26）電連接。

5.根據權利要求4所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述電觸頭（2）與中央支撐（1）之間通過若干導電帶（3）電連接。

6.根據權利要求4所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述電觸頭（2）的側壁螺旋貫穿有限位釘（5），所述限位釘（5）的釘頭緊密壓接于連接軸（1.1）外表面，由此通過限位釘（5）使電觸頭（2）無法在連接軸（1.1）上轉動，繼而使電觸頭（2）不隨驅動軸（20）轉動。

7.根據權利要求4所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述中央支撐（1）、電觸頭（2）之間的連接軸（1.1）外套裝有彈簧（4），通過彈簧（4）提供力使電觸頭（2）的錐面與驅動軸（20）的錐孔部孔壁保持電接觸。

8.根據權利要求4所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述連接軸（1.1）為中空軸，所述中央支撐（1）側面設有孔口與連接軸（1.1）內部連通；連接軸（1.1）外壁、驅動軸（20）內壁之間有環向間隙，且驅動軸（20）的軸壁中設有第一水道，第一水道一端連通至連接軸（1.1）、驅動軸（20）之間環向間隙，第一水道另一端連通至靶材（26）內部；所述端封部內設有第二水道，第二水道一端連通至靶材（26）內部，第二水道另一端連通至空心的磁棒（25）內部，磁棒（25）內部還與連接軸（1.1）內部連通；所述端頭外殼（17）上安裝有一對水接頭（10），其中一個水接頭一端連通至連接軸（1.1）、驅動軸（20）之間環向間隙，另一個水接頭連通至中央支撐（1）側面孔口。

9.根據權利要求4所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述端頭外殼（17）內壁、驅動軸（20）之間有環形空隙，環形空隙內一端固定有真空旋轉動密封（21），環形空隙內另一端固定有冷卻水動密封（18），由冷卻水動密封（18）、真空旋轉動密封（21）對端頭外殼（17）、驅動軸（20）之間環形空隙形成密封。

10.根據權利要求4所述的一種錐面傳輸功率的旋轉陰極端頭，其特征在于，所述驅動軸（20）上繞過有皮帶（12），皮帶（12）從端頭外殼（17）穿出并連接于外部皮帶輪。