[發明專利]一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置及使用方法

在審

• 申請號: 202211032322.5
• 申請日: 2022-08-26
• 公開（公告）號: CN115305569A
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 劉立新;李琳偉
• 申請（專利權）人: 長沙新立硅材料科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B35/00
• 代理公司: 杭州君銳知產專利代理事務所(普通合伙) 33443
• 代理人: 應孔月

1.一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，包括：

疊合式石墨坩堝；

水冷式線圈，用于給開爐燒結過程中的加熱以及為所述疊合式石墨坩堝內的硅料加熱；

耐火材料，所述耐火材料布置在所述疊合式石墨坩堝和水冷式線圈之間，所述耐火材料中預制有預制深孔，所述預制深孔用于將耐火材料、硅溶膠中的水蒸汽排出，同時為之后熔煉過程中耐火材料受熱膨脹提供緩沖。

2.根據權利要求1所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述疊合式石墨坩堝主要由多塊掏心柱狀石墨料和一塊帶底的掏心柱狀石墨料從上至下依次疊合而成，疊縫處采用硅溶膠與石墨粉的拌合物填充。

3.根據權利要求2所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述硅溶膠與石墨粉按任意比混合而成。

4.根據權利要求1所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述疊合式石墨坩堝的頂層石墨坩堝上開有圓弧形缺口，用于連接爐嘴。

5.根據權利要求1所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述疊合式石墨坩堝的頂部具有石墨坩堝蓋子，上面開有攪拌孔，供攪拌桿伸入。

6.根據權利要求1所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述預制深孔具有多個，均勻圍繞所述疊合式石墨坩堝一周。

7.根據權利要求1所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述預制深孔制作如下：將排氣管設置于所述耐火材料中，打爐完成后被提出形成預制深孔。

8.根據權利要求7所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，所述排氣管采用耐高溫的不銹鋼或者涂有耐高溫復合材料涂層。

9.根據權利要求1所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置，其特征在于，還包括：承載臺，所述承載臺位于所述疊合式石墨坩堝的底部。

10.根據權利要求1-9任一項所述的一種中頻爐熔煉多晶硅的裝置的使用方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1：向所述疊合式石墨坩堝中加硅料；

S2：通過水冷式線圈加熱疊合式石墨坩堝，進行燒結，燒結過程中，耐火材料以及疊合式石墨坩堝縫隙處硅溶膠中的水汽通過耐火材料中的預制深孔排出，在后續的多晶硅熔煉的過程中，耐火材料受熱膨脹，通過預制深孔提供緩沖。