[發明專利]光刻機雙光源曝光系統

有效

• 申請號: 202211031003.2
• 申請日: 2022-08-26
• 公開（公告）號: CN115268235B
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 鐘敏
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海互順專利代理事務所(普通合伙) 31332
• 代理人: 韋志剛;曹月明

1.光刻機雙光源曝光系統，包括曝光機架(1)和設置在曝光機架(1)內底部凹槽處的調節組件(3)以及螺栓安裝在曝光機架(1)右端的控制面板(5)，所述曝光機架(1)內側壁螺栓安裝有導軌組件(6)，所述調節組件(3)右端位移塊螺栓安裝有曝光平臺(4)，所述調節組件(3)與控制面板(5)電連接；

其特征在于：還包括安裝在曝光機架(1)頂部的導流機構(2)和導軌組件(6)前端的曝光機構(7)，所述曝光機構(7)包括螺栓安裝在導軌組件(6)位移滑塊前端的安裝側板(71)，所述安裝側板(71)前端中側設置有曝光器(72)和螺栓安裝在安裝側板(71)前端左右兩側的調平推桿(73)以及螺栓安裝在安裝側板(71)底部中側的對齊傳感器(78)，所述調平推桿(73)調節桿底部螺栓安裝有遮光件(74)，所述遮光件(74)內側通槽壁固定安裝有掩模版(75)和負性光刻膠(76)以及粘黏固定在遮光件(74)底部的電路圖形板(77)，所述調平推桿(73)與控制面板(5)電連接。

2.根據權利要求1所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述曝光器(72)包括螺栓安裝在安裝側板(71)前端的曝光殼體(721)，所述曝光殼體(721)底部粘黏設置有透光孔(722)和螺栓安裝在曝光殼體(721)內部的固定架體(723)。

3.根據權利要求2所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述固定架體(723)底部左側螺栓安裝有微型電源(724)和螺栓安裝在固定架體(723)頂部左側的第一曝光光源(725)以及固定安裝在固定架體(723)內槽壁的透光鏡(728)，所述固定架體(723)頂部右側設有聚合組件(727)。

4.根據權利要求3所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述第一曝光光源(725)頂部螺栓安裝有第二曝光光源(726)，所述微型電源(724)和第一曝光光源(725)以及第二曝光光源(726)均與控制面板(5)電連接。

5.根據權利要求3所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述聚合組件(727)包括螺紋安裝在固定架體(723)頂部右側的調節螺桿(7271)，所述調節螺桿(7271)固定安裝在第一遮光板(7272)底部，所述第一遮光板(7272)頂部焊接有鉸接環(7273)，所述鉸接環(7273)焊接在第二遮光板(7274)底部。

6.根據權利要求5所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述第一曝光光源(725)和第二曝光光源(726)內左壁均螺栓安裝有激光器(7275)和固定安裝在第一曝光光源(725)和第二曝光光源(726)內部的聚光鏡(7276)，所述第一曝光光源(725)和第二曝光光源(726)內壁分別與聚合光柵(7277)和平行光柵(7278)外框壁螺栓連接，所述激光器(7275)與控制面板(5)電連接。

7.根據權利要求1所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述導流機構(2)包括螺栓安裝在曝光機架(1)頂部的過濾機箱(21)，所述過濾機箱(21)后端螺栓安裝有風機板(22)和螺栓安裝在過濾機箱(21)內部后側的過濾棉層(23)以及螺栓安裝在過濾機箱(21)頂部的離子發生器(24)，所述過濾機箱(21)前端管道安裝有拉伸氣管(25)。

8.根據權利要求7所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述拉伸氣管(25)底部與換向閥(26)頂部管道連接，所述換向閥(26)左右兩端出風口管道安裝有吹掃管(27)和管道安裝在換向閥(26)底部的換熱管(28)，所述吹掃管(27)和換熱管(28)底部均管道安裝有橡膠套管(29)，所述風機板(22)和離子發生器(24)以及換向閥(26)均與控制面板(5)電連接。

9.根據權利要求1所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述電路圖形板(77)四周設有起到遮擋作用的遮光件(74)，且該遮光件(74)頂部設有起到粘黏作用的樹脂膠層。

10.根據權利要求5所述光刻機雙光源曝光系統，其特征在于：所述第一遮光板(7272)和第二遮光板(7274)之間所形成的夾角為150度，且第一遮光板(7272)和第二遮光板(7274)表面均設有反光面。