[發明專利]一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝固定方法在審
| 申請號： | 202211029123.9 | 申請日： | 2022-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN115418705A | 公開（公告）日： | 2022-12-02 |
| 發明（設計）人： | 李倫;周長城;王明星 | 申請（專利權）人： | 北京銘鎵半導體有限公司;河南銘鎵半導體有限公司 |
| 主分類號： | C30B11/00 | 分類號： | C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司： | 鄭州意創知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 41138 | 代理人： | 張江森;張岑 |
| 地址： | 101300 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 vgf 彩色 寶石 晶體生長 坩堝 固定 方法 | ||
1.一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝，包括石墨保溫罩(1)、加熱器(2)、坩堝本體(3)、石墨桿(4)、石墨支撐板(5)、底保溫板(6)、熱交換器(7)和鉭片(8)，其特征在于：所述鉭片(8)固定安裝在熱交換器(7)的上方，所述鉭片(8)與石墨保溫罩(1)固定連接，所述鉭片(8)的上端與坩堝本體(3)的下端相連接。
2.根據權利要求1所述的一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝，其特征在于：所述鉭片(8)的表面平整無翹曲，所述鉭片(8)的面積完全覆蓋石墨桿(4)的表面。
3.根據權利要求2所述的一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝，其特征在于：所述石墨桿(4)的數量為兩個，所述石墨桿(4)固定安裝在石墨支撐板(5)的上端，所述石墨支撐板(5)的數量為兩個。
4.根據權利要求3所述的一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝，其特征在于：所述底保溫板(6)固定安裝在石墨保溫罩(1)的下端，所述底保溫板(6)的長度與石墨保溫罩(1)的長度相等。
5.根據權利要求4所述的一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝，其特征在于：所述石墨保溫罩(1)的尺寸大于坩堝本體(3)的尺寸。
6.根據權利要求5所述的一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝，其特征在于：所述熱交換器(7)固定安裝在底保溫板(6)的內側，所述熱交換器(7)與坩堝本體(3)相連接。
7.一種VGF法彩色寶石晶體生長坩堝的固定方法，其特征在于：包括以下步驟：
S1、將鉭片(8)安裝在石墨桿(4)的上端；
S2、將坩堝本體(3)放置在鉭片(8)和石墨桿(4)的上端；
S3、將原料放入坩堝本體(1)的內部；
S4、開啟熱交換器(7)，熱交換器(7)通過內部冷卻水流動帶走坩堝本體(1)的熱量，成坩堝本體(1)內晶體生長的驅動力，直至晶體生長過程結束。
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