[發明專利]一種氮氧傳感器擴散障的制備方法在審
| 申請號: | 202211024235.5 | 申請日: | 2022-08-24 |
| 公開(公告)號: | CN115616062A | 公開(公告)日: | 2023-01-17 |
| 發明(設計)人: | 李碩;崔建東;楊志民 | 申請(專利權)人: | 有研科技集團有限公司 |
| 主分類號: | G01N27/48 | 分類號: | G01N27/48;G01N27/41 |
| 代理公司: | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人: | 劉秀青 |
| 地址: | 100088*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 傳感器 擴散 制備 方法 | ||
1.一種氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,該方法包括以下步驟:
(1)配制擴散障材料用流延漿料進行流延;所述流延漿料中按重量份數計,包括:氧化鋁粉體50份,氧化鋯粉體50份,玻璃粉體助燒劑1~3份,造孔劑25~35份,溶劑200~300份,樹脂粘結劑10~13份,增塑劑3~4份,分散劑1~3份;
(2)將得到的流延膜根據芯片空氣緩沖腔尺寸進行切片,并填充進空氣緩沖腔室中進行溫等靜壓;
(3)排膠、燒結后獲得帶多孔擴散障的陶瓷芯片。
2.根據權利要求1所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,所述氧化鋁粉體采用α-Al2O3,或α-Al2O3與γ-Al2O3復合粉體,粉體粒度為納米粉或微米粉,形貌為類球形或球形;YSZ粉體為納米級粉體;玻璃粉體為B-Si二元玻璃體系,粉體粒度為微米級。
3.根據權利要求2所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,所述氧化鋁粉體粒度D50為700nm~3μm;所述YSZ粉體粒度D50為200~900nm;所述玻璃粉體粒度D50為1~5μm。
4.根據權利要求1所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,造孔劑選用球形導電炭黑,尺寸為幾微米至幾百微米。
5.根據權利要求4所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,所述造孔劑的粒度D50為1~25μm。
6.根據權利要求1所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,溶劑為乙醇、丙酮、丁酮、甲苯中的一種或幾種;樹脂粘結劑為聚乙烯醇縮丁醛或乙基纖維素,增塑劑為鄰苯二甲酸二丁酯,分散劑為三乙醇胺。
7.根據權利要求1所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,所述溫等靜壓的溫度為50~70℃,時長為3~30min。
8.根據權利要求1所述的氮氧傳感器擴散障的制備方法,其特征在于,采用排膠工藝為800℃~900℃保溫1~2h;燒結工藝為1350℃~1500℃保溫0.5~3h。
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