[發明專利]真空連接轉換裝置、載片拋光方法及拋光機

有效

• 申請號: 202211021727.9
• 申請日: 2022-08-24
• 公開（公告）號: CN115431169B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發明（設計）人: 曹健;趙英偉;郝曉亮;王秀海;馬培圣;張文雅;文黎波;吳愛華
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/10;B24B37/30;B24B29/02;B24B55/00;B24B1/00
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 郭樂

1.一種載片拋光方法，利用一種真空連接轉換裝置，其特征在于，所述真空連接轉換裝置包括：

軸套(4)，具有上連接段和下連接段，所述上連接段內的上通孔的孔徑大于所述下連接段的下通孔的孔徑，所述上通孔和所述下通孔的相接處構成支撐平臺；

內套筒(8)，設置于所述上通孔內；其中，所述上連接段上設有用于真空管路的安裝孔(42)，所述內套筒(8)上設有抽氣孔(82)；

軸承(5)，設置于所述支撐平臺上，用于連接載片軸(9)；以及

分體端蓋(2)，封裝于所述上通孔的上端，對所述內套筒(8)內的真空腔(83)構成密封；

還包括用于采集所述真空腔(83)內壓力的真空傳感器(1)，所述真空傳感器(1)安裝于所述分體端蓋(2)上；

還包括安裝于所述下連接段外壁上的磁力開關(7)，用于檢測所述載片軸(9)的轉速；

所述方法包括：

將載片軸(9)裝入軸套(4)內，真空傳感器(1)安裝在軸套(4)上端的分體端蓋上，真空傳感器(1)連接蜂鳴報警器，磁力開關(7)安裝在軸套(4)的外壁上；

利用真空傳感器(1)獲取真空腔(83)內的實測真空值；

比較所述實測真空值與預設真空值的大小；

當實測真空值在預設真空值的范圍內時，進行載片(10)拋光作業；

當實測真空值在預設真空值的范圍外時，蜂鳴報警器發出報警，停機停止拋光作業；

在載片(10)作業時，利用磁力開關(7)獲取載片軸(9)的實測轉速；

比較所述實測轉速與預設轉速的大?。?/p>

當所述實測轉速在所述預設轉速的范圍內時，進行載片(10)拋光作業；

當所述實測轉速在所述預設轉速的范圍外時，蜂鳴報警器發出報警，停機停止拋光作業。

2.如權利要求1所述的載片拋光方法，其特征在于，所述軸承(5)的內徑大于所述內套筒(8)的內徑，以使所述內套筒(8)的下端面構成所述載片軸(9)的止擋面。

3.如權利要求1所述的載片拋光方法，其特征在于，所述內套筒(8)的下端設有法蘭盤(81)，所述法蘭盤(81)的側面抵接所述上通孔的內壁，所述法蘭盤(81)通過所述分體端蓋抵壓所述軸承(5)。

4.如權利要求3所述的載片拋光方法，其特征在于，所述內套筒(8)的外壁與所述上通孔的內壁之間構成真空緩沖腔(3)。

5.如權利要求1所述的載片拋光方法，其特征在于，所述下通孔內設有用于安裝密封圈的凹槽(41)。

6.如權利要求1所述的載片拋光方法，其特征在于，所述下通孔的下端還設有軸封(6)。