[發明專利]測試裝置

在審

• 申請號: 202211010688.2
• 申請日: 2022-08-23
• 公開（公告）號: CN115395886A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 韋國丹;沈洋;馬飛越;冉愛華;高雨;徐竹華
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳國際研究生院
• 主分類號: H02S50/15
• 分類號: H02S50/15
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 周翀

1.測試裝置，所述測試裝置用于測試被測樣品，其特征在于，所述測試裝置包括：

基板；

光源模塊，所述光源模塊設置于所述基板的一側，并用于生成光源信號；

第一承載件，所述第一承載件設置于所述基板靠近所述光源模塊的一側；所述第一承載件開設有鏤空部；其中，所述鏤空部的開設位置與所述光源信號的照射方向對應；

透光件，所述透光件用于密封所述鏤空部；

加熱件，所述加熱件設置于所述第一承載件遠離所述光源模塊的一側，所述加熱件用于根據預設溫度對所述被測樣品進行加熱；其中，所述被測樣品用于根據所述光源信號和所述預設溫度生成測試信號；

第二承載件，所述第二承載件設置于所述加熱件遠離所述第一承載件的一側；所述第二承載件用于承載所述被測樣品；

電連接件，所述電連接件設置于所述被測樣品遠離所述第二承載件的一側；

密封件，所述密封件設置于所述電連接件遠離所述被測樣品的一側；

處理模塊，所述處理模塊與所述電連接件連接，所述處理模塊用于根據所述測試信號生成第一測試結果；其中，所述第一測試結果用于表征所述被測樣品的工作性能。

2.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，還包括：

衍射模塊，所述衍射模塊包括發射單元、接收單元；

其中，所述發射單元用于發射初始光信號，以使所述初始光信號透過所述密封件照射于所述被測樣品上；所述接收單元用于接收所述被測樣品根據所述初始光信號反射的目標光信號；

其中，所述處理模塊還用于根據所述目標光信號生成第二測試結果，所述第二測試結果用于表征所述被測樣品的晶體結構。

3.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述密封件的材質為聚酰亞胺，所述密封件的厚度為0.05微米，所述密封件的尺寸為30毫米×30毫米。

4.根據權利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述發射單元以預設角度發射所述初始光信號至所述被測樣品，所述預設角度的范圍為6度至90度。

5.根據權利要求2所述的測試裝置，其特征在于，還包括：

角度調節模塊，所述角度調節模塊包括互相垂直設置的第一固定件和第二固定件，所述第一固定件用于承載所述基板；其中，所述第二固定件呈圓形；

所述角度調節模塊還包括呈環形的第一轉動件和呈環形的第二轉動件，所述第一轉動件環繞設置于所述第二固定件的外部，所述第二轉動件環繞設置于所述第一轉動件的外部，所述第一轉動件與所述第二轉動件的轉動方向相反，且轉動角速度相同；其中，所述發射單元設置于所述第一轉動件上，所述接收單元設置于所述第二轉動件上。

6.根據權利要求5所述的測試裝置，其特征在于，所述角度調節模塊還包括：

高度調節件，所述高度調節件與所述第一固定件連接，所述高度調節件用于調節所述基板沿所述第一固定件的垂直方向運動。

7.根據權利要求1至6任一項所述的測試裝置，其特征在于，所述電連接件包括兩個第一連接引腳、兩個第二連接引腳，所述被測樣品包括第一電極和兩個第二電極，所述兩個第二電極分別設置于所述第一電極相對的兩側，兩個所述第一連接引腳分別與所述第一電極相對的兩端連接，兩個所述第二連接引腳分別與兩個所述第二電極連接。

8.根據權利要求7所述的測試裝置，其特征在于，所述加熱件為薄膜式加熱元件。

9.根據權利要求8所述的測試裝置，其特征在于，所述第一承載件還開設有環狀的凹槽，所述凹槽圍繞所述透光件設置，所述凹槽用于承載所述加熱件；

其中，所述第一承載件和所述第二承載件對應所述透光件的部分中空，所述光源模塊與所述透光件間隔設置，所述透光件與所述被測樣品間隔設置，所述光源模塊的中心、所述透光件的中心及所述被測樣品的中心同軸。

10.根據權利要求9所述的測試裝置，其特征在于，還包括：

溫度控制模塊，所述溫度控制模塊與所述加熱件連接，所述溫度控制模塊用于調節所述預設溫度。