[發明專利]一種雙氣控緩釋化學藥品用藥液閥

在審

• 申請號: 202210985153.0
• 申請日: 2022-08-17
• 公開（公告）號: CN115126895A
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 王陽;魏猛;張茂峰
• 申請（專利權）人: 芯達半導體設備（蘇州）有限公司
• 主分類號: F16K7/17
• 分類號: F16K7/17;F16K17/04
• 代理公司: 遼寧惟則知識產權代理事務所(普通合伙) 21273
• 代理人: 李巨智

本發明公開了一種雙氣控緩釋化學藥品用藥液閥，屬于藥液閥結構領域，包括閥體，所述閥體的表面兩側分別開設有進液口與出液口，所述進液口與出液口相連通，所述閥體在內腔中活動裝配有活塞，所述活塞呈T字形，所述閥體在活塞的上方形成上腔室，所述閥體在活塞的下方形成下腔室，所述活塞的底部兩側與進液口、出液口處的內壁之間均裝配有隔膜。本發明利用彈簧拉長和壓縮特性，無論藥液閥開或關，都會有彈簧力做用保持活塞平緩運動，使活塞運動過程中，不會受到劇烈沖擊，從而保護隔膜，延長藥液閥使用壽命。

技術領域

本發明涉及藥液閥結構領域，具體為一種雙氣控緩釋化學藥品用藥液閥。

背景技術

在半導體領域，必會用到各類化學藥品，因化學藥品的有毒性、腐蝕性等危險特點，控制化學藥品關斷的藥液閥門就成在工藝管路中非常重要的環節，關乎系統的安全運行。

現使用藥液閥普遍為氣液分離的膜片式氣控閥，其中膜片的質量和壽命就決定了藥液閥的安全和壽命。傳統藥液閥普遍采用氣控解鎖，斷氣后彈簧復位閉合的運行模式，此種方式藥液閥控制管內壓力完全取決于彈簧力大小，單位體積下無法安裝更大彈簧，導致管路壓力升高一點，就需要更換更大體積藥液閥，非常浪費空間；

同時常見的藥液閥往往需要專門適配相應規格的管路進行使用，適用性欠佳，若不設置相應的調節功能，則藥液閥開口固定，即造成要么開口比管路大，形成空腔，要么開口比管路小，造成憋壓，使管路流量不穩定的技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種雙氣控緩釋化學藥品用藥液閥，通過設置雙面彈簧、雙口進氣結構，無論藥液閥開或關，都會有彈簧力做用保持活塞平緩運動，使活塞運動過程中，不會受到劇烈沖擊，從而保護藥液閥，延長藥液閥使用壽命，而且提高了藥液閥的適配性。

本發明提供如下技術方案：一種雙氣控緩釋化學藥品用藥液閥，包括閥體，所述閥體的表面兩側分別開設有相連通的進液口與出液口，形成通路；在所述閥體內部且位于所述進液口與出液口之間上方設置內腔，所述內腔的側壁下方向中間水平延伸出凸起邊；在所述內腔中活動設置活塞；

所述活塞包括第一結構和第二結構；所述第一結構與所述內腔的側壁相抵，將所述內腔分為上腔室和下腔室；所述第二結構的上端面固定連接于所述第一結構的下表面，且與所述第一結構相互垂直設置；所述第二結構向下延伸至所述進液口與出液口相連通的管路，且與所述凸起邊相抵；

在所述下腔室內設置第一彈簧，所述第一彈簧的兩端分別固定連接所述第一結構的下表面和所述凸起邊的上表面；所述下腔室設置第一進氣口，使氣體通過所述第一進氣口進入所述下腔室內部；

在所述上腔室內設置第二彈簧，所述第二彈簧的兩端分別固定連接所述內腔頂壁和所述第一結構的上表面；所述上腔室設置第二進氣口，使氣體通過所述第二進氣口進入所述上腔室內部。

進一步地，在所述進液口與出液口之間下方設置承載臺，所述承載臺的頂面匹配于所述第二結構的下端面設置，用于使所述活塞的第二結構與所述承載臺的頂面相抵時，對所述進液口與出液口之間管路進行截流。

進一步地，在所述活塞的第二結構下端面設置隔膜；所述隔膜向周圍延伸至所述進液口以及所述出液口的上壁，用于將所述進液口與出液口之間管路以及所述隔膜上方空間進行隔絕。

進一步地，所述第二彈簧和第一彈簧設置若干個，且所述第二彈簧和第一彈簧均作用于所述活塞的第一結構，使常態下，所述第二結構的下端面與所述承載臺的頂面相抵。

進一步地，所述閥體的頂部設置調節機構，所述調節機構用于調節所述活塞在所述上腔室的移動量。

進一步地，所述調節機構包括螺桿和轉輪；

所述螺桿穿過所述閥體的頂部表面，與所述閥體的頂部表面設置的螺孔進行螺接；