[發明專利]一種雙點膠頭高速固晶機在審
| 申請號: | 202210983326.5 | 申請日: | 2022-08-16 |
| 公開(公告)號: | CN115172226A | 公開(公告)日: | 2022-10-11 |
| 發明(設計)人: | 李金龍;李德榮;李銀拴 | 申請(專利權)人: | 佑光智能半導體科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/60;H01L23/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518172 廣東省深圳市龍崗*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙點膠頭 高速 固晶機 | ||
1.一種雙點膠頭高速固晶機,其特征在于,包括:
機架(100);
支架上料機構(200),用于容置多個固晶支架,所述支架上料機構(200)設置于所述機架(100)的側邊;
支架點膠機構(300),用于接收并容置所述支架上料機構(200)轉運的固晶支架并對該固晶支架進行點膠,所述支架點膠機構(300)包括用于放置固晶支架的支架放置座(310)、用于對所述支架放置座(310)上的固晶支架同時進行點膠的多個點膠焊頭(320)、用于安裝所述點膠焊頭(320)的點膠安裝座(330)以及驅動所述點膠焊頭(320)沿X軸和Y軸運動的點膠驅動組件(340),多個所述點膠焊頭(320)位于所述支架放置座(310)的正上方,所述支架放置座(310)以及所述點膠安裝座(330)均安裝于所述機架(100)的上表面,所述點膠驅動組件(340)安裝于所述點膠安裝座(330);
支架對接機構(400),具有支架對接位與固晶準備位,所述支架對接位的支架對接機構(400)用于接收所述支架放置座(310)上的固晶支架,所述支架對接機構(400)設置于所述機架(100)上表面;
芯片供料機構(500),安裝于所述機架(100)上表面以用于承載芯片;
焊頭固晶機構(600),用于從所述芯片供料機構(500)中吸取芯片并轉運至位于所述固晶準備位的所述支架對接機構(400)上的固晶支架內進行固晶;
支架下料機構(700),用于接收并容置所述支架對接機構(400)上的多個完成固晶操作的固晶支架,所述支架下料機構(700)設置于所述機架(100)的側邊。
2.根據權利要求1所述的一種雙點膠頭高速固晶機,其特征在于,所述點膠驅動組件(340)包括安裝于所述點膠安裝座(330)上表面的X軸運動模組(341)以及多個安裝于所述X軸運動模組(341)上方的Y軸運動模組(342),所述Y軸運動模組(342)的數量與所述點膠焊頭(320)的數量相同且一一對應。
3.根據權利要求2所述的一種雙點膠頭高速固晶機,其特征在于,所述支架點膠機構(300)還包括點膠監測相機(350),所述點膠監測相機(350)安裝于所述點膠安裝座(330)且位于所述支架放置座(310)的正上方。
4.根據權利要求1所述的一種雙點膠頭高速固晶機,其特征在于,所述支架對接機構(400)包括設置于所述機架(100)上表面的XY運動模組(410)以及設置于所述XY運動模組(410)上方的支架對接臺(420),所述支架對接臺(420)的長度方向與所述支架放置座(310)的長度方向平行,所述XY運動模組(410)帶動所述支架對接臺(420)于所述機架(100)上表面移動,當所述支架對接臺(420)與所述支架放置座(310)對接時,所述支架對接臺(420)處于支架對接位。
5.根據權利要求1所述的一種雙點膠頭高速固晶機,其特征在于,所述焊頭固晶機構(600)包括馬達安裝座(610)、取晶焊頭(620)以及焊頭驅動組件(630),所述馬達安裝座(610)安裝于所述機架(100)上表面,所述焊頭驅動組件(630)安裝于所述馬達安裝座(610),所述取晶焊頭(620)安裝于所述焊頭驅動組件(630),所述焊頭驅動組件(630)驅動所述取晶焊頭(620)從所述芯片供料機構(500)吸取芯片并轉運至位于所述固晶準備位的所述支架對接機構(400)的固晶支架上并往復運動。
6.根據權利要求1所述的一種雙點膠頭高速固晶機,其特征在于,所述支架上料機構(200)包括上料立柱(210)、固定設置于所述上料立柱(210)側邊的第一置料傳送架(220)、固定設置于所述上料立柱(210)側邊的第二置料傳送架(230)以及滑動設置于所述上料立柱(210)側邊的支架轉運組件(240),所述第一置料傳送架(220)位于所述第二置料傳送架(230)的正上方。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





