[發(fā)明專利]基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器與制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210977545.2
• 申請(qǐng)日: 2022-08-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115498420A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文天龍;劉俊霄;文岐業(yè);張岱南;鐘智勇;張懷武
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01Q17/00
• 分類號(hào): H01Q17/00;H01Q15/00;B41M1/12;B41M1/26;B41M7/00;G02F1/00;G02F1/01
• 代理公司: 電子科技大學(xué)專利中心 51203
• 代理人: 吳姍霖

1.一種基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器，其特征在于，包括：

玻璃襯底(1)；

ITO薄膜(2)，所述ITO薄膜生長(zhǎng)于玻璃襯底(1)之上；

介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)層(3)，所述介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)層位于ITO薄膜之上；

其中，所述介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)層由鈦酸鍶微粒和摻有金納米顆粒的PDMS復(fù)合得到，其中鈦酸鍶微粒均勻分散于摻有金納米顆粒的PDMS中，金納米顆粒、鈦酸鍶微粒和PDMS的質(zhì)量比為0.01：132：46；

所述介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)層采用周期性排列的圓柱陣列結(jié)構(gòu)，圓柱的半徑為25～75μm，高度為50～100μm，相鄰圓柱中心間距為200～300μm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器，其特征在于，所述玻璃襯底為鈣鈉玻璃、石英玻璃或硼硅酸玻璃，厚度為1000～2000μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器，其特征在于，所述ITO薄膜的厚度為0.36～0.4μm。

4.一種基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、鈦酸鍶復(fù)合油墨的制備：

1.1按照10:3的質(zhì)量比混合PDMS基質(zhì)與交聯(lián)劑，攪拌，得到PDMS預(yù)聚物；

1.2在步驟1.1得到的PDMS預(yù)聚物中加入濃度為0.008～0.012mol/L的四氯金酸鹽溶液，其中PDMS預(yù)聚物與四氯金酸鹽溶液的質(zhì)量比為9：1，攪拌混合均勻后，采用真空泵抽除內(nèi)部氣泡，得到摻有金納米顆粒的PDMS膠質(zhì)；

1.3在步驟1.2得到的摻有金納米顆粒的PDMS膠質(zhì)中加入鈦酸鍶微粒，攪拌混合均勻，得到鈦酸鍶復(fù)合油墨；其中，鈦酸鍶微粒和摻有金納米顆粒的PDMS膠質(zhì)的體積比為4：6；

步驟2、模版印刷超表面結(jié)構(gòu)：

2.1將全氟癸基三乙氧基硅烷溶解于無(wú)水乙醇中，配制得到體積濃度為1％的氟硅烷溶液；

2.2將帶介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)層圖案的不銹鋼模具浸泡于步驟2.1得到的氟硅烷溶液中，再烘干固化；

2.3將步驟2.2烘干固化后的不銹鋼模具固定于帶ITO薄膜的玻璃襯底上，倒入步驟1得到的鈦酸鍶復(fù)合油墨印刷后進(jìn)行熱烘固化，得到圖形化的鈦酸鍶復(fù)合材料；

2.4取下模具，即可得到所述基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器的制備方法，其特征在于，步驟1.3中加入的鈦酸鍶微粒的粒徑為1～5μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器的制備方法，其特征在于，步驟2.2中，浸泡時(shí)間為1～2h，烘干固化的溫度為120℃，烘干固化的時(shí)間為2h。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于鈦酸鍶復(fù)合材料的太赫茲吸波器的制備方法，其特征在于，步驟2.3中，熱烘固化的溫度為65℃，時(shí)間不低于2h。