[發明專利]一種熱陰極用熱子及其制備方法和應用在審
| 申請號： | 202210974942.4 | 申請日： | 2022-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN115424910A | 公開（公告）日： | 2022-12-02 |
| 發明（設計）人： | 何仕麗;李昊岳;何凡;徐康;彭攀;楊才煒;霍亮;郭洪瑋 | 申請（專利權）人： | 四川杰諾創科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J9/04 | 分類號： | H01J9/04;H01J1/14;H01J1/13;H01J1/15;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京正華智誠專利代理事務所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 韋海英 |
| 地址： | 610041 四川省成都*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 熱陰極 用熱子 及其 制備 方法 應用 | ||
1.一種熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)將熱絲繞于熱絲模具上并固定，然后燒制定型，冷卻至室溫，脫模并整形；
(2)在步驟(1)脫模后的熱絲表面，采用原子層沉積法沉積氧化鋁薄膜，制得熱陰極用熱子。
2.根據權利要求1所述的熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，步驟(1)中熱絲為鎢絲或鎢錸絲。
3.根據權利要求1所述的熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，步驟(1)中燒制定型的條件為：于1400-1600℃條件下保溫8-12min。
4.根據權利要求1或3所述的熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，步驟(1)中在氫氣保護氣氛條件下燒制定型。
5.根據權利要求1所述的熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，步驟(2)中原子層沉積法以三甲基鋁為前驅體，水為反應物，氮氣為載氣。
6.根據權利要求1或5所述的熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，步驟(2)中原子層沉積法條件為：壓力0.1-0.3Torr，沉積溫度200-250℃，三甲基鋁脈沖時間0.2-0.4s，水蒸氣脈沖時間0.08-0.12s，循環周期8000-12000次，退火溫度450-550℃。
7.根據權利要求1所述的熱陰極用熱子的制備方法，其特征在于，步驟(2)中氧化鋁薄膜厚度為0.8-1.2μm。
8.權利要求1-7任一項所述的熱陰極用熱子的制備方法制得的熱陰極用熱子。
9.權利要求8所述的熱陰極用熱子在制備微波真空電子器件方面的應用。
10.一種微波真空電子器件，其特征在于，包括權利要求8所述的熱陰極用熱子。
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