[發明專利]一種硅材料少數載流子壽命檢測設備及方法

在審

• 申請號: 202210974848.9
• 申請日: 2022-08-15
• 公開（公告）號: CN115389422A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 趙昭;李潔;沙長濤
• 申請（專利權）人: 中國電子技術標準化研究院
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理有限公司 11368
• 代理人: 仲伯煊

1.一種硅材料少數載流子壽命檢測設備，包括固定座，其特征在于：還包括位于固定座上的：

夾持單元，用于通過直線模組控制夾持板對待檢測硅材料進行夾持；

調節單元，用于通過旋轉組件和橫向移動組件控制檢測單元在橫向架上同步沿待檢測硅材料的長度方向或者周向方向運動；

檢測單元，用于通過光源、探測器和處理控制器對待檢測硅材料進行檢測。

2.根據權利要求1所述的一種硅材料少數載流子壽命檢測設備，其特征在于：所述直線模組固定于固定座上，且直線模組位于檢測單元旋轉空間內，所述直線模組通過內部的電機和雙向絲杠帶動上方的兩側夾持板進行相靠近或者相遠離運動。

3.根據權利要求1所述的一種硅材料少數載流子壽命檢測設備，其特征在于：所述橫向移動組件通過橫向架連接于旋轉組件上，所述旋轉組件包括旋轉電機、旋轉架和連接架，所述固定座的一側開有環形槽，所述固定座的另一側固定有旋轉電機，所述旋轉電機的輸出端連接于旋轉架的一側，所述旋轉架的兩端連接有貫穿于環形槽的連接架，所述橫向架的一端與連接架延伸出所述環形槽的一端相連接。

4.根據權利要求4所述的一種硅材料少數載流子壽命檢測設備，其特征在于：所述橫向移動組件包括橫移電機、皮帶輪、皮帶、絲杠和螺母滑塊，所述橫移電機固定于旋轉組件上，所述絲杠插接于橫向架內，所述螺母滑塊連接于橫向架和絲杠之間，所述絲杠一端設有皮帶輪，所述橫移電機通過皮帶輪與兩側橫向架內絲杠設置皮帶輪均通過皮帶連接。

5.根據權利要求4所述的一種硅材料少數載流子壽命檢測設備，其特征在于：所述旋轉架內部呈中空狀，所述橫向移動組件的絲杠貫穿于旋轉架內。

6.根據權利要求1所述的一種硅材料少數載流子壽命檢測設備，其特征在于：所述處理控制器包括與探測器電連接的信號放大器、與信號放大器電連接的鎖相放大器、與鎖相放大器電連接的主控制器、與鎖相放大器以及主控制器均電連接的函數發生器，所述的函數發生器與光源電連接。

7.根據權利要求1所述的一種硅材料少數載流子壽命檢測設備及方法，其特征在于：還包括一種硅材料少數載流子壽命檢測設備的檢測方法，具體包括如下步驟：

S1：將待檢測硅材料放置于直線模組上，然后控制直線模組帶動夾持板對待檢測硅材料固定；

S2：啟動檢測單元，通過光源、探測器和處理控制器對待檢測硅材料進行檢測；

S3：當需要沿待檢測硅材料的長度方向檢測時，通過控制橫向移動組件，同步帶動檢測單元在橫向架上運動，沿待檢測硅材料的長度方向進行固定位置檢測或者連續位置檢測；

S4：當需要沿待檢測硅材料的周向方向檢測時，通過控制旋轉組件，同步帶動檢測單元在橫向架上運動，沿待檢測硅材料的表面進行周向進行固定位置檢測或者連續位置檢測。