[發明專利]用于參考切換的光學系統在審
| 申請號: | 202210973045.1 | 申請日: | 2017-04-13 |
| 公開(公告)號: | CN115342915A | 公開(公告)日: | 2022-11-15 |
| 發明(設計)人: | M·A·阿爾伯雷;G·沙姆巴特;M·A·泰雷爾 | 申請(專利權)人: | 蘋果公司 |
| 主分類號: | G01J3/02 | 分類號: | G01J3/02;G01J3/10;G01J3/36;G01N21/25;G01J3/42 |
| 代理公司: | 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038 | 代理人: | 鄒丹 |
| 地址: | 美國加*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 參考 切換 光學系統 | ||
1.一種用于確定樣本的屬性的系統,所述系統包括:
一個或多個光源,所述一個或多個光源發射光;
檢測器陣列,包括檢測器像素;
照明光學器件;
第一光學器件單元,包括:
第一襯底;和
第一多個收集光學器件,所述第一多個收集光學器件在所述第一襯底上;和
第二光學器件單元,包括:
第二襯底;和
第二多個收集光學器件,所述第二多個收集光學器件在所述第二襯底上,其中:
所述照明光學器件接收所述光并且將所述光引導朝向所述樣本;
所述第一多個收集光學器件接收所述光的從所述樣本反射的至少一部分;
所述第一多個收集光學器件中的每個光學器件將所述光的一部分傳輸到所述第二多個收集光學器件中的相應一個光學器件;以及
所述第二多個收集光學器件中的每個光學器件將所述光的一部分傳輸到所述檢測器陣列中的相應檢測器像素。
2.根據權利要求1所述的系統,其中:
所述系統包括具有表面的輸出耦合器;
所述輸出耦合器將光傳輸到所述照明光學器件;
所述照明光學器件被定位在所述第二光學器件單元的第一側;以及
所述輸出耦合器與所述第二光學器件單元的與第一側相對的第二側接觸。
3.根據權利要求1所述的系統,其中:
所述系統包括被定位成向所述照明光學器件提供光的輸出耦合器;
所述照明光學器件被定位在所述第二襯底的第一側;
所述檢測器像素面對所述第二襯底的第二側;以及
所述第二側與所述第二襯底的第一側相對。
4.根據權利要求1所述的系統,還包括位于所述第一襯底上的孔隙層。
5.根據權利要求4所述的系統,其中所述孔隙層包括金屬。
6.根據權利要求4所述的系統,其中:
所述第二多個收集光學器件被定位在所述第二襯底的第一側;以及
所述孔隙層位于所述第二襯底的第一側。
7.根據權利要求1所述的系統,還包括一個或多個復用器,所述一個或多個復用器被配置為組合從所述一個或多個光源接收的所述光。
8.根據權利要求7所述的系統,其中:
所述一個或多個復用器被設置在第三襯底上;以及
所述檢測器陣列被定位在所述第三襯底之下。
9.根據權利要求1所述的系統,其中:
所述照明光學器件被定位在所述第二光學器件單元的第一側。
10.一種系統,包括:
一個或多個光源,所述一個或多個光源發射光,所述光被引導朝向所述系統的外表面;
第一組光學器件,所述第一組光學器件接收所述光的至少一部分;
第二組光學器件;以及
檢測器陣列,所述檢測器陣列具有多個檢測器像素,其中所述檢測器陣列、第一組光學器件和第二組光學器件被布置為形成:
第一三元件,包括:
所述第一組光學器件的第一光學器件,所述第一光學器件在第一光路上收集所述光的返回進入所述系統的至少一部分并改變所述光的第一角度;
所述第二組光學器件的第二光學器件,所述第二光學器件在第一光路上接收來自所述第一光學器件的所述光;以及
所述檢測器陣列中的第一檢測器像素,所述第一檢測器像素在第一光路上接收來自所述第二光學器件的所述光;
第二三元件,包括:
所述第一組光學器件的第三光學器件,所述第三光學器件在第二光路上收集所述光的返回進入所述系統的至少一部分并改變所述光的第二角度;
所述第二組光學器件的第四光學器件,所述第四光學器件在第二光路上接收來自所述第三光學器件的所述光;以及
所述檢測器陣列中的第二檢測器像素,所述第二檢測器像素在第二光路上接收來自所述第四光學器件的所述光,其中所述第一三元件和所述第二三元件解析光的不同入射角。
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