[發(fā)明專利]通過集成柱面透鏡和波導(dǎo)結(jié)構(gòu)將光子集成電路與玻璃襯底對準(zhǔn)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210972537.9 | 申請日： | 2022-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN115808750A | 公開（公告）日： | 2023-03-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉昌華;P·塔達(dá)永;J·赫克;E·莫雷特;T·伊布拉欣;張志超;J·D·埃頓 | 申請（專利權(quán)）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | G02B6/42 | 分類號： | G02B6/42 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 葉曉勇;李嘯 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 通過 集成 柱面 透鏡 波導(dǎo) 結(jié)構(gòu) 光子 集成電路 玻璃 襯底 對準(zhǔn) | ||
1.一種電子裝置，包括：
光子集成電路（PIC），所述光子集成電路（PIC）包括至少一個波導(dǎo)；
發(fā)射透鏡，所述發(fā)射透鏡設(shè)置在所述PIC上，以在基本平行于所述PIC的第一表面的方向上發(fā)射來自所述至少一個波導(dǎo)的光；以及
光學(xué)元件，所述光學(xué)元件設(shè)置在所述PIC上并具有反射表面，所述光學(xué)元件被配置成擴展從所述發(fā)射透鏡發(fā)射的光，并在遠(yuǎn)離所述PIC的所述第一表面的方向上引導(dǎo)所擴展的光。
2.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其中，所述光學(xué)元件的所述反射表面包括全內(nèi)反射表面。
3.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其中，所述反射表面是被配置成在與所述PIC的所述第一表面基本上正交的方向上引導(dǎo)所擴展的光的平坦反射表面。
4.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，包括：
掩埋絕緣體層，所述掩埋絕緣體層定位在所述PIC的所述第一表面和與所述PIC的所述第一表面相對的底表面中間的高度；以及
其中，所述發(fā)射透鏡被布置在所述第一表面和所述掩埋絕緣體層之間。
5.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其中，所述第一表面包括焊盤。
6.如權(quán)利要求5所述的電子裝置，包括所述焊盤上的焊料凸塊，并且所述焊料凸塊的高度大于所述光學(xué)元件距所述第一表面的高度。
7.如權(quán)利要求1-6中任一項或其任何組合所述的電子裝置，包括：
多個發(fā)射透鏡；
多個光學(xué)元件；
其中，所述PIC包括多個光信號介質(zhì)，每個光信號介質(zhì)向所述多個發(fā)射透鏡中的相應(yīng)發(fā)射透鏡提供光信號；以及
其中，相應(yīng)光學(xué)元件的反射表面被配置成在基本上正交于所述PIC的所述第一表面的方向上導(dǎo)引從對應(yīng)發(fā)射透鏡接收的光。
8.一種形成電子裝置的方法，所述方法包括：
形成光子集成電路（PIC），所述子集成電路（PIC）包括至少一個波導(dǎo)；
在所述PIC上布置發(fā)射透鏡，所述發(fā)射透鏡被定位成在基本上平行于所述PIC的第一表面的方向上發(fā)射來自所述波導(dǎo)的光；以及
在所述PIC上附接光學(xué)元件，所述光學(xué)元件被配置成擴展從所述發(fā)射透鏡接收的光，并且包括全內(nèi)反射表面，所述全內(nèi)反射表面被配置成在遠(yuǎn)離所述PIC的所述第一表面的方向上導(dǎo)引從所述發(fā)射透鏡接收的所擴展的光。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，
其中，形成PIC包括在所述PIC中形成掩埋絕緣體層；以及
其中，布置所述發(fā)射透鏡包括將所述發(fā)射透鏡布置在所述PIC的所述掩埋絕緣體層上。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，布置所述發(fā)射透鏡包括蝕刻以在所述PIC上形成所述發(fā)射透鏡。
11.如權(quán)利要求8所述的方法，包括：
將焊料凸塊設(shè)置在所述PIC的所述第一表面上的焊盤上；以及
使用所述焊料凸塊將所述PIC的所述第一表面附接到玻璃襯底，其中，所述玻璃襯底包括波導(dǎo)。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，包括：使用對紅外光譜中的光透明的底部填充材料來底部填充所述PIC。
13.如權(quán)利要求8所述的方法，包括：將所述PIC的所述第一表面附接到包括波導(dǎo)的玻璃襯底，其中，所述玻璃襯底包括曲面鏡，所述曲面鏡被配置成將從所述光學(xué)元件接收的光聚焦到所述波導(dǎo)上。
14.如權(quán)利要求8所述的方法，包括：將所述PIC的所述第一表面附接到包括波導(dǎo)的玻璃襯底，其中，所述玻璃襯底包括：
反射鏡，所述反射鏡被配置成將從所述光學(xué)元件接收的光導(dǎo)引到所述波導(dǎo)上；以及
透鏡，所述透鏡被配置成將從所述光學(xué)元件接收的光聚焦到所述反射鏡上。
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