[發明專利]一種晶圓用覆膜裝置及其方法

在審

• 申請號: 202210972191.2
• 申請日: 2022-08-15
• 公開（公告）號: CN115662917A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 謝亮春;鄧攀;張小波
• 申請（專利權）人: 深圳市新晶路電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/304
• 代理公司: 寧波華拓同億專利代理事務所(普通合伙) 33432
• 代理人: 徐亞敏

1.一種晶圓用覆膜裝置，包括底座（1）、支撐架（11）和通孔（18），所述支撐架（11）安裝在底座（1）的上端，所述通孔（18）開設在底座（1）的右端內壁，其特征在于，還包括：

用于對晶圓壓膜的按壓組件（2），所述按壓組件（2）安裝在支撐架（11）上；

用于對刀片橫向調節的定位組件（3），所述定位組件（3）安裝在支撐架（11）的上端；

按壓組件（2）包括對按壓輥輪移動的移動組件（4），所述移動組件（4）安裝在按壓組件（2）上；

用于對晶圓膜切割的切膜組件（5），所述切膜組件（5）安裝在支撐架（11）的上端。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述按壓組件（2）包括電機二（21）、導桿一（211）和絲桿一（25），所述絲桿一（25）轉動安裝在支撐架（11）下端內側，所述電機二（21）安裝在支撐架（11）的左端，所述電機二（21）輸出端連接絲桿一（25），所述導桿一（211）安裝在支撐架（11）下端內側。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述導桿一（211）外壁滑動安裝滑塊（23），所述滑塊（23）上端安裝電機三（22），所述電機三（22）輸出端安裝轉桿（221），所述轉桿（221）的側端安裝支撐桿二（222），所述支撐桿二（222）的下端轉動安裝有按壓輪（223）。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述移動組件（4）包括支撐塊二（41）和電機五（42），所述支撐塊二（41）內側螺紋連接絲桿一（25），所述支撐塊二（41）的上端安裝電機五（42），所述支撐塊二（41）和滑塊（23）內側均轉動安裝有支撐軸（26），所述支撐軸（26）內側安裝按壓輥輪（24），所述支撐軸（26）外壁安裝有齒輪二（44），所述電機五（42）輸出端連接齒輪一（43），所述齒輪一（43）下端嚙合連接齒輪二（44）。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述定位組件（3）包括電機四（31）、絲桿二（33）和導桿二（34），所述絲桿二（33）轉動安裝在支撐架（11）上端內側，所述導桿二（34）安裝在支撐架（11）上端內側，所述電機四（31）安裝在支撐架（11）的左上端，所述電機四（31）輸出端連接絲桿二（33），所述絲桿二（33）上螺紋安裝支撐座（35），所述支撐座（35）滑動連接導桿二（34），所述支撐座（35）上端安裝液壓桿（32）。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述切膜組件（5）包括側板一（51）、支撐盒（52）、側板二（581）和電機六（55），所述支撐盒（52）安裝在液壓桿（32）的輸出端，所述支撐盒（52）的右端安裝側板一（51），所述支撐盒（52）的左端安裝側板二（581），所述支撐盒（52）的下端安裝電機六（55）。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述電機六（55）的輸出端安裝轉盤（56），所述轉盤（56）的下端分別安裝有切膜刀（57）和支撐筒體（59），所述支撐筒體（59）下端轉動安裝滾珠（591），所述側板二（581）上端安裝有伸縮桿二（58），所述伸縮桿二（58）輸出端安裝裁切刀片（582）。

8.根據權利要求6所述的一種晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述側板一（51）上端安裝伸縮桿一（53），所述伸縮桿一（53）輸出端安裝壓板（54），所述壓板（54）的下端分別安裝有支撐塊三（543）和壓桿（544），所述支撐塊三（543）內側轉動安裝鋸齒輪（542），所述支撐塊三（543）外側安裝小型電機（541），所述小型電機（541）輸出端連接鋸齒輪（542）。