[發(fā)明專利]一種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210969199.3
• 申請日: 2022-08-12
• 公開（公告）號: CN115490416B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發(fā)明（設計）人: 姜銀鑌;耿健;吳然紅;楊軍
• 申請（專利權）人: 杭州大和熱磁電子有限公司
• 主分類號: C03B29/02
• 分類號: C03B29/02
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 汪利勝

本發(fā)明公開了一種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置，旨在解決石英產(chǎn)品火拋光操作不便的不足。該發(fā)明包括機架、安裝在機架上的機械臂和裝夾組件，機械臂上安裝有噴火槍，裝夾組件包括裝夾座、若干用于裝夾石英產(chǎn)品的夾持臂，夾持臂移動安裝在裝夾座上。這種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置能實現(xiàn)石英產(chǎn)品的自動火拋光操作，操作過程中石英產(chǎn)品定位精準可靠，而且能適應不同尺寸規(guī)格石英產(chǎn)品的火拋光操作。

技術領域

本發(fā)明涉及一種石英產(chǎn)品加工技術，更具體地說，它涉及一種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置。

背景技術

隨著半導體行業(yè)的不斷發(fā)展，石英產(chǎn)品的需求也日益增加，很多時候對石英產(chǎn)品的加工過程中需要進行火拋光，從而降低石英產(chǎn)品表面的粗糙度，提高產(chǎn)品的品質。當前石英產(chǎn)品火拋光工藝基本為人工操作或半自動設備操作，產(chǎn)品加工穩(wěn)定性較差，通用性不好，且精度較差。

中國專利文獻上公開的“一種石英環(huán)火拋光裝置”，其申請?zhí)朇N201922162598.5，其包括操作臺架，操作臺架包括支架和操作臺組件，操作臺組件設置于支架上，操作臺組件包括載物臺和拋光槍架，待加工的石英環(huán)固定于載物臺上，拋光槍架設置于載物臺的一側；拋光槍架的底端固定于載物臺上、頂端設有拋光槍頭，拋光槍頭的噴射口朝向載物臺的臺面；載物臺設置于一旋轉臺上，旋轉臺經(jīng)由電機驅動后轉動時帶動載物臺旋轉。其不足之處是，加工時拋光槍頭位置固定不變，所以只能拋光到產(chǎn)品的固定位置；每次更換不同類型產(chǎn)品后都需要人工手動調(diào)節(jié)，操作繁瑣；載物臺沒有定位夾持機構，加工精度較差且不能適用于多種尺寸的產(chǎn)品。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述不足，本發(fā)明提供了一種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置，它能實現(xiàn)石英產(chǎn)品的自動火拋光操作，操作過程中石英產(chǎn)品定位精準可靠，而且能適應不同尺寸規(guī)格石英產(chǎn)品的火拋光操作。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明采用以下技術方案：一種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置，包括機架、安裝在機架上的機械臂和裝夾組件，機械臂上安裝有噴火槍，裝夾組件包括裝夾座、若干用于裝夾石英產(chǎn)品的夾持臂，夾持臂移動安裝在裝夾座上。

石英產(chǎn)品火拋光操作時，將石英產(chǎn)品裝夾在夾持臂之間，夾持臂安裝在裝夾座上可移動，從而實現(xiàn)對不同尺寸規(guī)格的石英產(chǎn)品的可靠裝夾。機架上安裝機械臂，噴火槍安裝在機械臂上，噴火槍點火后機械臂移動使噴火槍朝向石英產(chǎn)品表面噴火，進行火拋光操作。機械臂的移動通過設定的程序自動控制，用戶將石英產(chǎn)品的尺寸參數(shù)輸入控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)生成機械臂的運動軌跡，從而自動控制機械臂移動進行火拋光。這種基于機器人的石英產(chǎn)品自動火拋光裝置能實現(xiàn)石英產(chǎn)品的自動火拋光操作，操作過程中石英產(chǎn)品定位精準可靠，而且能適應不同尺寸規(guī)格石英產(chǎn)品的火拋光操作。

作為優(yōu)選，夾持臂包括立柱、支撐塊，支撐塊連接在立柱上端，支撐塊上設有豎向設置的夾持凸塊。

支撐塊對石英產(chǎn)品起到了很好的支撐作用，保證了對石英產(chǎn)品裝夾的精準度，夾持凸塊對石英產(chǎn)品邊緣進行定位，保證裝夾的可靠性。

作為優(yōu)選，支撐塊上設有若干徑向間隔布置的臺階面。

設置多個臺階面適應多種不同尺寸規(guī)格的石英產(chǎn)品，提高通用性。

作為優(yōu)選，裝夾座上和夾持臂對應安裝有氣缸，夾持臂下端與氣缸伸縮桿緊固連接。

通過氣缸實現(xiàn)對夾持臂的移動，移動平穩(wěn)可靠。

作為優(yōu)選，裝夾座轉動安裝在機架上。裝夾座轉動設置，使石英產(chǎn)品在火拋光的時候能夠轉動，有利于提高火拋光效果。

作為優(yōu)選，機械臂設置兩個，一個機械臂上安裝第一噴火槍，另一個機械臂上安裝第二噴火槍和第三噴火槍。

第一噴火槍用于對圓環(huán)類石英產(chǎn)品進行平面的火拋光和加工之前的預熱。第二噴火槍、第三噴火槍用于對圓環(huán)類石英產(chǎn)品進行圓環(huán)溝槽及邊緣的火拋光加工。