[發明專利]一種單晶爐在審
| 申請號: | 202210967435.8 | 申請日: | 2022-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN115287745A | 公開(公告)日: | 2022-11-04 |
| 發明(設計)人: | 楊超;宋克冉;楊西虎 | 申請(專利權)人: | 曲靖晶澳光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人: | 劉煜 |
| 地址: | 655000 云南省曲靖市曲靖*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐 | ||
1.一種單晶爐,其特征在于,包括:
熱場組件,形成為筒狀,且設置有用于拉制單晶的腔室,所述腔室頂部設置有開口;
爐筒,套設在所述熱場組件外側,所述爐筒筒壁周向上設置有多個通孔;
導熱件,設置在所述通孔內,包括第一端與第二端,所述第一端用于與所述熱場組件的外壁接觸,所述第二端背離所述第一端;
伸縮件,與所述第二端連接,用于驅動所述導熱件伸出以與所述熱場組件的外壁接觸,或驅動所述導熱件縮回。
2.根據權利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述爐筒筒壁中空,所述爐筒還包括:
循環水泵,與所述爐筒筒壁連通,用于向所述爐筒筒壁內輸入冷卻水。
3.根據權利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述爐筒筒壁內側與所述熱場組件外壁間存在空隙。
4.根據權利要求3所述的單晶爐,其特征在于,所述導熱件形成為銅棒,所述銅棒直徑與所述通孔直徑匹配。
5.根據權利要求4所述的單晶爐,其特征在于,還包括:
密封罩,設置在所述爐筒外壁上,所述密封罩靠近所述爐筒外壁的一側設置有密封腔,用于罩設所述通孔。
6.根據權利要求5所述的單晶爐,其特征在于,所述伸縮件背離所述導熱件的一端與所述密封罩固定連接。
7.根據權利要求6所述的單晶爐,其特征在于,所述伸縮件包括:
伸縮電機,與所述密封罩固定連接;
伸縮鉸鏈,分別與所述伸縮電機和所述導熱件的第二端連接,用于在所述伸縮電機的驅動下控制所述導熱件伸出或縮回。
8.根據權利要求7所述的單晶爐,其特征在于,所述導熱件的所述第一端收縮時與所述爐筒內壁齊平。
9.根據權利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述通孔內壁為銅材質。
10.根據權利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述通孔包括多個,并均勻間隔設置所述爐筒筒壁上。
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