[發明專利]一種具有復合冷卻功能的干式真空泵

在審

• 申請號: 202210954417.6
• 申請日: 2022-08-10
• 公開（公告）號: CN115163494A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 宋月坤
• 申請（專利權）人: 圖庫真空技術（嘉興）有限公司
• 主分類號: F04C29/04
• 分類號: F04C29/04;F04C29/00
• 代理公司: 浙江啟明星專利代理有限公司 33492
• 代理人: 孫玉全

本發明公開了一種具有復合冷卻功能的干式真空泵，包括泵體和泵殼，泵體置于泵殼內；所述泵體包括轉子殼體，轉子殼體中間設有工作腔，轉子置于工作腔內；所述工作腔外側設有水套，水套內設有冷卻液；所述泵殼其中一端面板上設有進風口，另一端面板上安裝有風扇，轉子殼體與泵殼之間形成冷卻風道，轉子殼體外側設有散熱筋。本發明集水冷和風冷兩種冷卻方式于一體，利用冷卻液快速帶走泵體局部高溫的熱量，泵體不易受熱變形，增加泵的穩定性；風扇與進風口配合工作，空氣被轉子殼體外側的散熱筋引流，提高空氣流速，提高降溫效率。

技術領域

本發明涉及真空泵技術領域，特別涉及一種具有復合冷卻功能的干式真空泵。

背景技術

干式真空泵又叫無油真空泵或干式無油真空泵，是一種工作腔內沒有潤滑油的真空泵，廣泛應用于半導體、光伏、等離子技術、航空航天等領域。目前市場上的干式真空泵主要有干式螺桿真空泵、干式多級羅茨真空泵、干式爪形真空泵、干式復合螺桿真空泵。

干式真空泵的冷卻方式有風冷和水冷兩種。水冷是指在干式真空泵的外殼上開設水槽，水槽中流動冷卻水，熱量由冷卻水帶走。水冷風冷是直接通過真空泵上電機的風扇或者外置的風扇，將溫度較低的空氣吹到泵的外殼上使之散熱的方式。水冷和風冷都具有各自的優缺點：

水冷的優點：

1.冷卻充分，冷卻效果好；

2.冷卻均勻，不會產生局部溫度特別高的情況；

3.泵結構緊湊，可通過使用水冷密封電機的方式使得泵沒有轉動部件外露，提高安全性；

4.泵安裝位置沒有太高要求，不需要考慮通風。

水冷的缺點：

1.需要額外提供冷卻水，且冷卻水的溫度需在一定范圍內；

2.因為冷卻水管的原因，泵一旦固定好位置后不方便移動位置。

風冷的優點：

1.不需要通過外接冷卻水即可實現對泵的冷卻，使之正常工作；

2.可隨時移動風冷設備的安裝位置。

風冷的缺點：

1.泵體溫度不均勻，泵的外殼，尤其是靠近排氣口處容易形成局部高溫，當環境溫度略有變化時即有可能因局部變形過大而產生故障，影響泵的穩定運行；

2.散熱不均勻，因為風扇安裝的位置是固定的，靠近風扇的地方氣流量較大，遠離風扇的地方氣流量較小，散熱效果也差；

3.對安裝位置有一定要求，前后左右上下均需保持一定距離，以使得泵正常通風便于冷卻，如果通風不好有可能產生故障。

常規的風冷、水冷這兩種冷卻方式，并不能很好地對干式真空泵進行冷卻，導致泵體因溫度過高變形，影響真空泵的使用壽命。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提供了一種具有復合冷卻功能的干式真空泵，集風冷、水冷功能于一體，發揮兩者的優點，快速冷卻真空泵，保證真空泵的使用壽命。

為此，本發明的技術方案是：一種具有復合冷卻功能的干式真空泵，包括泵體和泵殼，泵體置于泵殼內；所述泵體包括轉子殼體，轉子殼體中間設有工作腔，轉子置于工作腔內；所述工作腔外側設有水套，水套內設有冷卻液；所述泵殼其中一端面板上設有進風口，另一端面板上安裝有風扇，轉子殼體與泵殼之間形成冷卻風道，轉子殼體外側設有散熱筋。