[發明專利]一種晶圓傳片和測量系統

在審

• 申請號: 202210944711.9
• 申請日: 2022-08-08
• 公開（公告）號: CN115346904A
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發明（設計）人: 李明瑞;李曉飛
• 申請（專利權）人: 魅杰光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 黃貞君;黎飛鴻

1.一種晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述晶圓傳片和測量系統包括：

載臺、傳片機器人、尋邊機、測量組件和控制器；

所述載臺用于放置晶圓花籃；

所述傳片機器人用于從所述載臺上將所述晶圓花籃中的晶圓傳輸至所述尋邊機，還用于將所述晶圓從所述尋邊機傳輸至所述測量組件以及將所述晶圓從所述測量組件返回至所述晶圓花籃中；

所述尋邊機用于糾正晶圓的姿態，以便為所述測量組件提供姿態正確的晶圓；

所述測量組件包括：運動機構和檢測機構，所述運動機構用于將所述晶圓移動至拍攝位置，所述檢測機構通過拍攝晶圓圖像獲得晶圓的檢測結果；

所述控制器用于在將所述傳片機器人獲得的晶圓信息處理后，分別向所述傳片機器人和所述尋邊機發送數據指令，使所述傳片機器人將所述晶圓從所述載臺傳輸至所述尋邊機，所述尋邊機為所述測量組件提供姿態正確的晶圓；

還用于向所述傳片機器人發送將所述姿態正確的晶圓由所述尋邊機傳輸至所述測量組件的數據指令，以便所述測量組件對所述晶圓進行檢測獲得檢測結果；還用于向所述傳片機器人發送將所述晶圓由所述測量組件傳輸至所述晶圓花籃的數據指令。

2.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述檢測機構包括圖像拍攝模塊，所述圖像拍攝模塊用于拍攝由所述運動機構放置拍攝位置的晶圓圖像，以便所述晶圓傳片和測量系統根據所述晶圓圖像獲得所述晶圓的檢測結果。

3.根據權利要求2所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述檢測機構包括激光檢測模塊和聚焦模塊，所述激光檢測模塊用于獲取所述晶圓與所述圖像拍攝模塊的距離，所述聚焦模塊用于獲取所述圖像拍攝模塊與所述晶圓的拍攝焦距，以便所述運動機構根據所述距離和所述拍攝焦距調節所述晶圓的拍攝位置。

4.根據權利要求2所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述檢測機構包括：光路模塊，所述光路模塊用于為所述圖像拍攝模塊提供拍攝所述晶圓的投射光線。

5.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述晶圓傳片和測量系統還包括晶圓盛放板，所述晶圓盛放板與所述尋邊機連接，用于由所述傳片機器人將所述尋邊機上的晶圓放置于所述晶圓盛放板，并且所述晶圓盛放板隨所述運動機構移動至拍攝位置。

6.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述傳片機器人包括：機械手臂、z軸和轉動臺；所述機械手臂在水平面內運動，所述z軸沿z軸方向移動，所述轉動臺用于轉動；使得所述傳片機器人實現所述晶圓的傳輸。

7.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述晶圓傳片和測量系統包括多個所述載臺，所述載臺組件還用于放置不同晶圓尺寸的晶圓花籃。

8.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述載臺包括位置傳感器和凸片檢測器，所述位置傳感器用于獲取所述載臺上是否放置晶圓花籃；所述凸片檢測器用于檢測所述晶圓花籃中晶圓的凸片信息。

9.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述載臺可拆卸設置于所述晶圓傳片和測量系統。

10.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述傳片機器人設置有激光傳感器，所述激光傳感器用于獲知所述載臺上晶圓花籃中的每層放置位置是否有晶圓。

11.根據權利要求1所述的晶圓傳片和測量系統，其特征在于，所述控制器包括第一控制器、第二控制器和第三控制器；

所述載臺與所述傳片機器人依次通過第一控制器和第二控制器連接，所述第一控制理器用于接收所述載臺獲得的晶圓信息，并將所述晶圓信息分析處理后傳輸至所述第二控制器，其中所述第二控制器用于向所述傳片機器人機發送掃描所述晶圓花籃的指令信息以及向所述傳片機器人發送將所述晶圓傳輸至所述尋邊機的指令信息；所述第三控制器接收所述第一控制器和所述第二控制器的數據信息并進行分析處理。