[發(fā)明專利]一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度Goos-H?nchen位移氣體傳感器及制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210944003.5 | 申請日： | 2022-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN115575352A | 公開（公告）日： | 2023-01-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 魏曼麗;吳迪;劉思彤;李潤華;馬季 | 申請（專利權(quán)）人： | 遼寧石油化工大學(xué) |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 遼寧沈陽國興知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21100 | 代理人： | 姜婷婷 |
| 地址： | 113001 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 波長 材料 靈敏度 goos nchen 位移 氣體 傳感器 制備 方法 | ||
1.一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度位移氣體傳感器，其特征在于：雙曲超材料由金屬銀和電介質(zhì)二氧化鈦交替層組成，入射區(qū)背景介質(zhì)為氦氣，出射區(qū)背景介質(zhì)為空氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度位移氣體傳感器，其特征在于，所述的雙曲超材料中金屬銀的厚度為dAg＝42nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度位移氣體傳感器，其特征在于，所述的雙曲超材料中電介質(zhì)二氧化鈦的厚度為dTio2＝108nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度位移氣體傳感器，其特征在于，所述的入射區(qū)背景介質(zhì)氦氣的折射率為nHe＝1.000032。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度位移氣體傳感器，其特征在于，所述的出射區(qū)背景介質(zhì)空氣的折射率為nair＝1.000265。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于亞波長雙曲材料的高靈敏度位移氣體傳感器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一：該氣體傳感器是基于TM波設(shè)計的；
步驟二：探究位移在入射角、入射波長、背景介電常數(shù)以及填充因子的增強特性；
步驟三：基于步驟二得到的位移的特性，選取可以得到最大位移的入射角θ＝69.25deg，入射波長為λ＝342nm以及填充因子為f＝0.28的條件；
步驟四：基于步驟三的條件入射，并在入射區(qū)充入氦氣可以得到靈敏度為S＝1.59×109nm/RIU的氣體傳感器。
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- 專利分類
G01N 借助于測定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段，即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng)，測試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
