[發明專利]一種基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器及其制作方法

在審

• 申請號: 202210938508.0
• 申請日: 2022-08-05
• 公開（公告）號: CN115332921A
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 曹紅占
• 申請（專利權）人: 武漢楚星光纖應用技術有限公司
• 主分類號: H01S3/067
• 分類號: H01S3/067
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張小麗

1.一種基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：對選取的光纖進行預處理，將所述光纖的一端研磨得到光纖透鏡；

S2：在所述光纖上對所述光纖透鏡的后端進行金屬化處理；

S3：對S2中的光纖尾端刻寫超窄線寬相移光柵；

S4：將所述超窄線寬相移光柵進行補償封裝，在所述超窄線寬相移光柵外側并排設置有第一補償封裝部和第二補償封裝部，所述第一補償封裝部的熱膨脹系數大于所述第二補償封裝部的熱膨脹系數；

S5：將S4得到的光纖與激光芯片連接，通過焊接涂料將金屬化光纖位置與所述激光芯片進行耦合焊接。

2.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述步驟S4中，所述第一補償封裝部采用鋁材封裝，所述第二補償封裝部采用高硼硅玻璃封裝。

3.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述步驟S3中，超窄線寬相移光柵的刻寫方法為：

搭建刻寫平臺，包括激光器以及沿光路依次設置的反射鏡、柱面鏡、相位掩膜板，所述相位掩膜板前設置有所述光纖；

其中，所述反射鏡連接有驅動其運動的運動控制平臺，所述相位掩膜板下方連接有驅動其運動的壓電陶瓷，所述運動控制平臺和所述壓電陶瓷連接有控制系統。

4.根據權利要求3所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述柱面鏡和所述相位掩膜板之間的間距與所述柱面鏡的焦距相等。

5.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述超窄線寬相移光柵的線寬為30MHZ～1000MHZ，反射率大于10dB。

6.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述光纖透鏡為錐形或楔形，所述光纖透鏡的楔形角度為10～150°，曲率半徑為3～20μm，偏軸2°。

7.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述步驟S2中，光纖金屬化處理處的膜層厚度為1～10μm。

8.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述光纖包括纖芯、包層和涂覆層，所述包層包覆在所述纖芯外側，所述涂覆層設置在所述包層外側。

9.根據權利要求1所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法，其特征在于，所述步驟S5中，所述焊接涂料為AuSn20，焊接溫度為290℃，焊接時間小于10S。

10.一種基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器，其特征在于，采用如權利要求1-9任一所述的基于超窄線寬相移光柵的激光濾波器的制作方法制作的激光濾波器。