[發(fā)明專利]三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210925497.2
• 申請(qǐng)日: 2022-08-01
• 公開（公告）號(hào): CN116467994A
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧俊勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 先進(jìn)半導(dǎo)體材料（安徽）有限公司
• 主分類號(hào): G06F30/392
• 分類號(hào): G06F30/392;G06F30/398;G06T7/00;G06T7/13
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 武振華

1.一種三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法，其特征在于，包括：

對(duì)于多個(gè)光刻設(shè)計(jì)圖形，均采用多個(gè)預(yù)設(shè)的刻蝕時(shí)長對(duì)樣本進(jìn)行刻蝕，以得到對(duì)應(yīng)的刻蝕輪廓；

測量各個(gè)刻蝕輪廓的尺寸，并確定各個(gè)光刻設(shè)計(jì)圖形在各個(gè)刻蝕時(shí)長下的多個(gè)測量位置的刻蝕深度；

針對(duì)每個(gè)刻蝕時(shí)長，采用二維仿真刻蝕模型確定每個(gè)所述測量位置的刻蝕概率；

根據(jù)所述刻蝕時(shí)長、各個(gè)測量位置的刻蝕概率，對(duì)所述刻蝕深度進(jìn)行擬合，確定擬合函數(shù)；

根據(jù)所述擬合函數(shù)，構(gòu)建所述三維仿真刻蝕模型。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法，其特征在于，根據(jù)所述刻蝕時(shí)長、各個(gè)測量位置的刻蝕概率，對(duì)所述刻蝕深度進(jìn)行擬合，確定擬合函數(shù)包括：

對(duì)于每個(gè)刻蝕時(shí)長，采用插值法確定多個(gè)預(yù)設(shè)的目標(biāo)仿真位置的刻蝕概率以及刻蝕深度，以得到多個(gè)插值數(shù)據(jù)組，其中，每個(gè)插值數(shù)據(jù)組包含刻蝕時(shí)長、插值刻蝕深度以及插值刻蝕概率；

以所述刻蝕時(shí)長、所述刻蝕概率為元，采用所述插值數(shù)據(jù)組確定所述刻蝕深度的二元擬合函數(shù)的各個(gè)擬合參數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法，其特征在于，所述采用插值法確定多個(gè)預(yù)設(shè)的目標(biāo)仿真位置的刻蝕概率以及刻蝕深度包括：

對(duì)于每個(gè)刻蝕時(shí)長，對(duì)至少一部分測量位置的刻蝕深度進(jìn)行插值處理，以確定各個(gè)預(yù)設(shè)的目標(biāo)仿真位置的插值刻蝕深度；

對(duì)至少一部分測量位置的刻蝕概率進(jìn)行插值處理，以確定各個(gè)預(yù)設(shè)的目標(biāo)仿真位置的插值刻蝕概率；

關(guān)聯(lián)具有相同目標(biāo)仿真位置的插值刻蝕深度以及插值刻蝕概率，以得到所述插值數(shù)據(jù)組。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法，其特征在于，采用下述二元擬合多項(xiàng)式公式，以所述刻蝕時(shí)長、所述刻蝕概率為元，采用所述插值數(shù)據(jù)組確定所述刻蝕深度的二元擬合函數(shù)的各個(gè)擬合參數(shù)：

z(x,y,N_t)＝

d(x,y,N_t)^c+b₁×N_t+b₂×N_t²+…+b_c×N_t^c

其中，z(x,y,N_t)用于表示刻蝕深度的二元擬合函數(shù)，d(x,y,N_t)用于表示在刻蝕時(shí)長N_t下目標(biāo)仿真位置(x,y)的刻蝕概率，c為正整數(shù)，a₁至a_c、b₁至b_c為各個(gè)擬合參數(shù)，z₀用于表示預(yù)設(shè)的刻蝕深度初始值；

其中，所述插值數(shù)據(jù)組的數(shù)量大于等于所述擬合參數(shù)的數(shù)量。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法，其特征在于，根據(jù)所述擬合函數(shù)，構(gòu)建所述三維仿真刻蝕模型包括：

其中，z(x,y,N_t)用于表示在刻蝕時(shí)長N_t下目標(biāo)仿真位置(x,y)的刻蝕深度，d(x,y,N_t)用于表示在刻蝕時(shí)長N_t下目標(biāo)仿真位置(x,y)的刻蝕概率，D₀(N_t)用于表示在刻蝕時(shí)長N_t下的刻蝕概率閾值。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維仿真刻蝕模型的構(gòu)建方法，其特征在于，還包括：

采用待仿真刻蝕時(shí)長以及所述二維仿真刻蝕模型，確定待仿真坐標(biāo)的刻蝕概率；

將一個(gè)或多個(gè)所述仿真坐標(biāo)的刻蝕概率以及待仿真刻蝕時(shí)長，代入所述三維仿真刻蝕模型，以得到各個(gè)仿真坐標(biāo)的刻蝕深度的仿真值。