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[發明專利]一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法有效

專利信息
申請號: 202210922764.0 申請日: 2022-08-02
公開(公告)號: CN115341272B 公開(公告)日: 2023-09-15
發明(設計)人: 高平奇;趙天歌;郁建燦;朱夢瓊;朱瑞楠 申請(專利權)人: 中山大學
主分類號: C30B25/00 分類號: C30B25/00;C30B29/46
代理公司: 深圳市創富知識產權代理有限公司 44367 代理人: 范偉民
地址: 510275 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 毫米 二維 拓撲 材料 硒化鉍單晶 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,以鉍粉和硒粉分別作為鉍源和硒源,將鉍粉和硒粉分別放置在單溫區管式爐上游的不同區域,將云母襯底放置在中心溫區;再于真空狀態下將中心溫區的溫度升至500~700℃的預定溫度,然后通過氬氫混合氣作為載氣將蒸發的鉍源和硒源傳輸至襯底處,鉍和硒在氫氣作用下發生反應,最終在云母襯底上生成硒化鉍單晶。

2.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,所述鉍源和硒源分別放置在距離中心溫區10cm和15cm的上游處。

3.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,鉍和硒的反應時間為5~20min,反應結束后自然冷卻至室溫。

4.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,所述中心溫區的升溫速率為30~40℃/min。

5.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,所述氬氫混合氣中,氬氣的流量為50~100sccm,氫氣流量2.5~5sccm。

6.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,所述云母襯底為新鮮剝離的氟金云母。

7.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,中心溫區開始升溫前,先將爐管內壓強抽至10~100Pa的真空狀態,隨后封閉爐管,再啟動加熱程序。

8.根據權利要求7所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,抽壓強封閉爐管前,先預抽真空至9-15Pa,并充入惰性氣體至大氣壓,并反復洗氣,以排除殘余氧氣。

9.根據權利要求1所述的一種毫米級二維拓撲材料硒化鉍單晶的制備方法,其特征在于,以氬氫混合氣作為載氣通過爐腔時,通至爐腔內的壓強升至大氣壓,并打開出氣閥,使鉍和硒在氫氣作用下發生反應。

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