[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體用石英厚板凹槽槽底面與槽側(cè)面同步拋光裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210919751.8
• 申請(qǐng)日: 2022-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN115139210A
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單佩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B9/06;B24B41/00;B24B41/047;B24B41/06;B24B41/02
• 代理公司: 上海灃成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31425
• 代理人: 趙立勇

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種同步拋光裝置。一種用于半導(dǎo)體用石英厚板凹槽槽底面與槽側(cè)面同步拋光裝置，包括一機(jī)座，機(jī)座上設(shè)置有：一拋光盤；一擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與拋光盤連接，帶動(dòng)拋光盤在水平方向萬向移動(dòng)；一轉(zhuǎn)動(dòng)盤機(jī)構(gòu)，具有設(shè)置在機(jī)座之上的轉(zhuǎn)動(dòng)盤和設(shè)置在機(jī)座之下的主軸減速電機(jī)，主軸減速電機(jī)的電機(jī)軸連接轉(zhuǎn)動(dòng)盤，主軸減速電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)；一固定器，可拆卸的設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)盤上，用于固定石英厚板。本發(fā)明可同時(shí)對(duì)具有凹槽的產(chǎn)品進(jìn)行槽底與槽側(cè)面同時(shí)拋光，提高拋光速度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種同步拋光裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣向上，制程工藝的趨勢是向密集度愈高的方向發(fā)展。尤其是使用在刻蝕設(shè)備上的石英零件產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來越高，對(duì)于石英厚板零件的光潔度的技術(shù)指標(biāo)需求大幅度增長的背景下。

傳統(tǒng)的石英厚板的凹槽拋光裝置是通過氫氣與氧氣的火焰拋光，通過將石英厚板放置于石墨臺(tái)面上，通過將氫氣與氧氣通過石英火槍后燃燒，對(duì)凹槽進(jìn)行火焰灼燒，通過火焰加熱石英厚板表面，石英表面溫度升高，當(dāng)達(dá)到適合溫度石英表面融化，因此達(dá)到拋光的效果，之后在進(jìn)行退火處理，此方法在石英厚板的凹槽拋光時(shí)，對(duì)所需拋光環(huán)境和熱加工人員的要求非常高，尤其是對(duì)火焰拋光人員的加工專業(yè)性的要求很高，人員的專業(yè)能力直接影響石英厚板光潔度以及產(chǎn)品內(nèi)應(yīng)力。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)上述技術(shù)問題，目的在于提供一種用于半導(dǎo)體用石英厚板凹槽槽底面與槽側(cè)面同步拋光裝置。

一種用于半導(dǎo)體用石英厚板凹槽槽底面與槽側(cè)面同步拋光裝置，包括一機(jī)座，所述機(jī)座上設(shè)置有：

一拋光盤；

一擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述拋光盤連接，帶動(dòng)所述拋光盤在水平方向萬向移動(dòng)；

一轉(zhuǎn)動(dòng)盤機(jī)構(gòu)，具有設(shè)置在機(jī)座之上的轉(zhuǎn)動(dòng)盤和設(shè)置在所述機(jī)座之下的主軸減速電機(jī)，所述主軸減速電機(jī)的電機(jī)軸連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤，所述主軸減速電機(jī)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)；

一固定器，可拆卸的設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上，用于固定石英厚板。

本發(fā)明優(yōu)選適用于具有凹槽的石英厚板，在使用時(shí)，將石英厚板置于轉(zhuǎn)動(dòng)盤上，優(yōu)選放置于轉(zhuǎn)動(dòng)盤的中部，通過固定器將石英厚板進(jìn)行固定。將拋光盤置于石英厚板凹槽之內(nèi)。在放入拋光液，通過驅(qū)動(dòng)擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)拋光盤在石英厚板凹槽之內(nèi)水平方向萬向移動(dòng)，同時(shí)通過驅(qū)動(dòng)主軸減速電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)石英厚板轉(zhuǎn)動(dòng)，石英厚板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與拋光盤的萬向移動(dòng)方向優(yōu)選為相反方向，實(shí)現(xiàn)通過拋光盤自動(dòng)對(duì)石英厚板的凹槽槽底、凹槽側(cè)面以及凹槽底部弧形倒角的拋光。在拋光完成后，在石英厚板凹槽內(nèi)取出拋光盤，松開固定器即可。

所述拋光盤為一彈性拋光盤，所述拋光盤包括：

一拋光盤本體，圓柱形結(jié)構(gòu)，從頂面向下挖設(shè)有一圈拋光盤容納槽；

一滑塊，類圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述拋光盤容納槽內(nèi)；

若干彈簧桿，沿周向均勻設(shè)置在所述拋光盤本體內(nèi)壁和所述滑塊外壁之間，一端與所述拋光盤本體內(nèi)壁連接，另一端與所述滑塊外壁連接；

一限位器，通過軸承設(shè)置于所述滑塊內(nèi)環(huán)內(nèi)側(cè)，通過所述限位器與所述擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可拆卸連接。

本發(fā)明的拋光盤通過若干彈簧桿實(shí)現(xiàn)了滑塊和拋光盤本體之間具有微動(dòng)效果，在擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)拋光盤至石英厚板凹槽的邊緣時(shí)，彈簧桿可實(shí)現(xiàn)壓縮，使拋光盤與石英厚板凹槽側(cè)面進(jìn)行貼合并施加徑向力，該徑向力可實(shí)現(xiàn)更好的拋光效果和拋光精度。

所述彈簧桿包括：

一彈簧桿外套，內(nèi)部中空，一端具有連接接頭，另一端為敞開結(jié)構(gòu)，內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)螺紋；