[發明專利]一種半導體材料生產用打磨設備

在審

• 申請號: 202210918302.1
• 申請日: 2022-08-01
• 公開（公告）號: CN115157049A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 趙瑞昆;高小良
• 申請（專利權）人: 徐州良萌半導體科技有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/22;B24B41/02;B24B27/00
• 代理公司: 北京專贏專利代理有限公司 11797
• 代理人: 蔣婷

1.一種半導體材料生產用打磨設備，包括安裝座，其特征在于，所述安裝座的外壁設置有立板，且立板的一側外壁設置有電動滑軌，且電動滑軌中滑動設置有滑塊，所述滑塊的外壁設置有移動框，且移動框的內壁設置有立柱，所述立柱的端部轉動設置有托板，所述安裝座的外壁還設置有固定板，所述固定板中轉動設置有絲桿，且絲桿的端部設置有調節輪，所述絲桿的外壁套接有移動板，且移動板和安裝座之間相貼合，所述移動板的外壁設置有伸縮件一，且伸縮件一的伸縮端設置有升降板，所述升降板的外壁貫穿轉動設置有轉軸，且轉軸的形狀為U形，所述轉軸的端部設置有安裝框，所述安裝框中設置有打磨塊，且打磨塊的外壁設置有活動桿，所述活動桿貫穿所述安裝框，且活動桿的外壁套接有彈性件一，所述安裝框靠近打磨塊的一側外壁開設有固定口，所述安裝框的外壁還設置有弧形桿，且弧形桿貫穿所述升降板，還包括：

夾持機構，所述夾持機構設置于移動框上，用于夾持托板上的半導體材料；

限位機構，所述限位機構設置于移動框的內壁，用于限定托板的位置；

固定機構，所述固定機構設置于升降板的一側，用于限定弧形桿的位置。

2.根據權利要求1所述的一種半導體材料生產用打磨設備，其特征在于，所述夾持機構包括貫穿螺紋設置于移動框頂部外壁的螺桿，所述螺桿的一端設置有轉盤，且螺桿的另一端轉動設置有安裝筒，所述安裝筒的內壁通過彈性件二連接有伸縮桿，所述伸縮桿的端部設置有抵板，且抵板和托板的外壁均設置有多個橡膠球。

3.根據權利要求2所述的一種半導體材料生產用打磨設備，其特征在于，所述限位機構包括設置于移動框內壁的立筒，所述立筒的內壁通過彈性件三連接有插桿，且插桿的外壁設置有擋片，所述托板的底部外壁開設有等距離呈環形分布的插槽，且插桿的端部和插槽的內壁相契合。

4.根據權利要求1所述的一種半導體材料生產用打磨設備，其特征在于，所述固定機構包括伸縮件二，所述伸縮件二設置于升降板一側開設的凹槽中，且伸縮件二的伸縮端設置有活動板，所述活動板的外壁設置有抵桿，且抵桿的端部設置有抵塊，所述抵塊的外壁和弧形桿的外壁相貼合。

5.根據權利要求4所述的一種半導體材料生產用打磨設備，其特征在于，所述電動滑軌、伸縮件一和伸縮件二均通過導線連接有開關，且開關電性連接有控制器。

6.根據權利要求1所述的一種半導體材料生產用打磨設備，其特征在于，所述安裝座的外壁設置有固定塊，且固定塊的頂端和兩側外壁均設置有等距離分布的滾輪，所述移動框的外壁開設有固定槽，且滾輪的外壁和固定槽的內壁相接觸。

7.根據權利要求1所述的一種半導體材料生產用打磨設備，其特征在于，所述安裝框的一側外壁開設有安裝口，所述打磨塊的一側外壁設置有指針，且指針貫穿所述安裝口，所述安裝框的側壁還設置有刻度尺，且指針的端部和刻度尺相貼合。