[發明專利]疊壓工作臺及疊壓機

在審

• 申請號: 202210918195.2
• 申請日: 2022-08-01
• 公開（公告）號: CN115195264A
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 劉洋;馬紅雷;張世強;楊志
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B32B37/10
• 分類號: B32B37/10;B32B37/06
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 嚴小艷

本申請涉及半導體加工技術領域，具體而言，涉及一種疊壓工作臺及疊壓機，包括從上到下依次疊置的承壓板、支撐板和承壓塊，在所述承壓板的底部設置有凸臺，在所述支撐板的中部設置有與所述凸臺相對應的通孔，所述支撐板用于與導向裝置配合，在所述承壓板與所述支撐板之間設置有彈性支撐件，以使在豎直方向上所述承壓板與所述支撐板之間形成有第一間隙，且在豎直方向上所述凸臺與所述承壓塊之間形成有第二間隙，所述第一間隙的尺寸不小于所述第二間隙的尺寸。本申請的目的在于針對在疊壓加工位置進行陶瓷膜片疊壓成型的過程中，導向裝置會承受較大的工作載荷，常會損壞導向裝置的技術問題，提供一種疊壓工作臺及疊壓機。

技術領域

本申請涉及半導體加工技術領域，具體而言，涉及一種疊壓工作臺及疊壓機。

背景技術

為滿足疊層式電子元件的疊層加工需求，需要將經過預處理的陶瓷膜片轉移至疊壓加工位置，并將疊層完成的成品(或半成品)移出功能，現有疊壓機的疊壓工作臺就是用來實現上述功能的。疊壓工作臺在上料位置接收經過預處理的陶瓷膜片，然后疊壓工作臺在導向裝置上移動至疊壓加工位置，使預處理的陶瓷膜片在大載荷作用下疊壓成型，最后將半成品(或者成品)轉移至上料位置(或者下料位置)。但是，在疊壓加工位置進行陶瓷膜片疊壓成型的過程中，導向裝置會承受較大的工作載荷，常會損壞導向裝置。

發明內容

本申請的目的在于針對在疊壓加工位置進行陶瓷膜片疊壓成型的過程中，導向裝置會承受較大的工作載荷，常會損壞導向裝置的技術問題，提供一種疊壓工作臺及疊壓機。

為了實現上述目的，本申請采用以下技術方案：

本申請的一個方面提供一種疊壓工作臺，包括從上到下依次疊置的承壓板、支撐板和承壓塊，在所述承壓板的底部設置有凸臺，在所述支撐板的中部設置有與所述凸臺相對應的通孔，所述支撐板用于與導向裝置配合，在所述承壓板與所述支撐板之間設置有彈性支撐件，以使在豎直方向上所述承壓板與所述支撐板之間形成有第一間隙，且在豎直方向上所述凸臺與所述承壓塊之間形成有第二間隙，所述第一間隙的尺寸不小于所述第二間隙的尺寸。

可選的，在所述承壓板上安裝有導向套，在所述支撐板上形成有與所述導向套滑動配合的導向軸。

該技術方案的有益效果在于：通過導向軸與導向套的配合，避免承壓板在豎直方向上的移動發生偏斜。

可選的，所述彈性支撐件為碟形彈簧，在所述支撐板的頂面上設置有安裝槽，所述碟形彈簧安裝與所述安裝槽內。

可選的，還包括加熱板和下壓模，所述下壓模位于所述加熱板的上方，所述加熱板位于所述承壓板的上方，所述加熱板用于為所述下壓模加熱。

該技術方案的有益效果在于：通過加熱板對下壓模加熱可以使陶瓷膜片在加熱的條件下疊壓。

可選的，還包括隔熱板，所述隔熱板安裝于所述加熱板的底面。

該技術方案的有益效果在于：通過設置隔熱板使熱量不易從下方各部件散失。

可選的，還包括冷卻板，所述冷卻板固定于所述隔熱板的底面，從上到下所述下壓模、所述加熱板、所述隔熱板、所述冷卻板和所述承壓板依次疊置。

該技術方案的有益效果在于：通過冷卻板吸收加熱板傳遞過來的熱量，進一步使熱量不易對下方部件產生影響。

可選的，還包括調整板，所述下壓模、所述調整板和所述加熱板依次疊置，所述下壓模固定于所述調整板，在所述調整板的底面上安裝有與所述加熱板配合的調整裝置，所述調整裝置用于調整所述加熱板與所述調整板之間的相對位置。

該技術方案的有益效果在于：設置該調整裝置，可以通過調整加熱板與調整板之間的相對位置，實現調整下壓模及下壓模上的陶瓷膜片的位置。