[發(fā)明專利]基底傳輸設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210916129.1
• 申請日: 2016-07-11
• 公開（公告）號: CN115424964A
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: R.T.卡夫尼
• 申請（專利權(quán)）人: 博魯可斯自動化美國有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉楨;張一舟

一種基底傳輸設(shè)備，包括連接至框架的驅(qū)動器區(qū)段和多驅(qū)動器軸主軸，多驅(qū)動器軸主軸具有至少一個同軸的軸主軸，串聯(lián)設(shè)置的多于一個不同的可互換馬達(dá)模塊，具有可操作聯(lián)接至其的馬達(dá)并且限定對應(yīng)的獨(dú)立驅(qū)動器軸線，以及罐形密封件，罐形密封件設(shè)置在每個馬達(dá)模塊的定子與轉(zhuǎn)子之間并且使定子和轉(zhuǎn)子彼此氣密地密封，至少一個馬達(dá)模塊可從其它不同的可互換馬達(dá)模塊選擇用于聯(lián)接至同軸的軸主軸，其具有與至同軸的軸主軸的聯(lián)接無關(guān)的不同的預(yù)定特性，不同的預(yù)定特性限定對應(yīng)驅(qū)動器軸線的與軸主軸位置無關(guān)的不同的預(yù)定驅(qū)動器特性，以便使得對至少一個馬達(dá)模塊的選擇確定同軸的軸主軸的不同的預(yù)定驅(qū)動器特性。

本申請是申請日為2016年7月11日、申請?zhí)枮?01680053113.5、發(fā)明名稱為“基底傳輸設(shè)備”的發(fā)明專利申請的分案申請。

相關(guān)申請的交叉引用

本申請要求2015年7月13日提交的美國臨時專利申請第62/191,836號的權(quán)益，其公開內(nèi)容全部以引用的方式并入本文。

背景技術(shù)

1. 技術(shù)領(lǐng)域

示例性實(shí)施例一般地涉及基底處理系統(tǒng)，并且更加具體地涉及在不用對馬達(dá)部件進(jìn)行原位校準(zhǔn)的情況下可重新配置且可互換的基底傳輸設(shè)備。

2. 相關(guān)發(fā)展的簡要描述

通常，基底或者晶圓傳輸設(shè)備（諸如，僅僅用于示例性目的，用于在半導(dǎo)體處理設(shè)備中傳輸基底的傳輸設(shè)備）具體地被配置用于特定設(shè)置。例如，在組裝傳輸設(shè)備時，驅(qū)動器軸線的數(shù)量以及馬達(dá)特性是固定的。實(shí)際上，在基本上不拆卸基底傳輸設(shè)備并且對其重建的情況下，這些基底傳輸設(shè)備就不能被重新配置。這限制了常規(guī)的基底傳輸設(shè)備的互換性和互操作性，并且導(dǎo)致制造設(shè)施 （即，F(xiàn)AB（晶圓廠））操作具有許多基本上相似但不可互換的傳輸設(shè)備。舉例來說，F(xiàn)AB操作者可以具有常規(guī)的3軸線、4軸線、以及5軸線的機(jī)械手（其每一個用于適用3軸線、4軸線、或者5軸線傳輸設(shè)備的對應(yīng)處理站或工具）。盡管在配置上基本上相似（例如，常規(guī)的機(jī)械手可以均具有相同類型的臂，諸如，SCARA臂（選擇順應(yīng)性裝配機(jī)械手臂）、跳蛙臂等），但常規(guī)的3軸線、4軸線、以及5軸線傳輸設(shè)備是不可互換的，并且常規(guī)傳輸設(shè)備的重新配置（例如，將3軸線傳輸設(shè)備重新配置為5軸線傳輸設(shè)備或者反之亦然）涉及將常規(guī)傳輸設(shè)備完全拆卸且重建。

此外，在常規(guī)傳輸設(shè)備包括豎直的或者Z軸線行進(jìn)的情況下，用于提供傳輸設(shè)備的傳輸臂的旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)通常安裝在驅(qū)動地聯(lián)接至Z軸線驅(qū)動器的托架中。該托架的大小通常被設(shè)計成用于預(yù)定數(shù)量的馬達(dá)，其中，托架內(nèi)的馬達(dá)的數(shù)量通常是不變的。從至少傳輸設(shè)備制造立場以及從終端用戶的立場來看，需要多個托架和驅(qū)動殼體框架來適應(yīng)具有不同數(shù)量的堆疊馬達(dá)以及不同數(shù)量的Z軸線行進(jìn)的傳輸設(shè)備。

有利的情況將是具有一種傳輸設(shè)備，該傳輸設(shè)備具有減小高度的模塊化馬達(dá)，該減小高度的模塊化馬達(dá)能夠被插入到適應(yīng)不同馬達(dá)堆體高度的共同托架中以及從該共同托架上被移除。同樣有利的情況將是具有一種傳輸設(shè)備，該傳輸設(shè)備具有減小高度的模塊化馬達(dá)，該減小高度的模塊化馬達(dá)能夠彼此交換和組合使用以便實(shí)現(xiàn)對傳輸設(shè)備的重新配置。

附圖說明

在以下結(jié)合附圖的描述中對公開的實(shí)施例的前述方面和其它特征進(jìn)行描述，在附圖中：

圖1A至圖1D是包含公開的實(shí)施例的方面的基底處理設(shè)備的示意圖；

圖2A至圖2E是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的傳輸臂的示意圖；

圖3A、圖3B、圖3C、以及圖3D是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的基底傳輸設(shè)備的各部分的示意圖；

圖4A和圖4B是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的基底傳輸設(shè)備的各部分的示意圖；

圖4C是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的基底傳輸設(shè)備的一部分的示意圖；

圖5是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的基底傳輸設(shè)備的一部分的示意圖；

圖6是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的基底傳輸設(shè)備的一部分的示意圖；

圖7是根據(jù)公開的實(shí)施例的方面的基底傳輸設(shè)備的一部分的示意圖；