[發(fā)明專利]晶圓的熱處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210913995.5
• 申請日: 2022-08-01
• 公開（公告）號: CN115206848B
• 公開（公告）日: 2023-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李海衛(wèi);冀建民;劉春峰;么曼實
• 申請（專利權(quán)）人: 北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687;H01J37/32
• 代理公司: 北京易光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11596
• 代理人: 王一;武晨燕

1.一種晶圓的熱處理裝置，其特征在于，包括：

腔體，具有相對設(shè)置的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁沿豎直方向間隔開設(shè)有第一開口和第二開口，所述第二側(cè)壁上開設(shè)有第三開口，所述第一開口與所述第三開口沿水平方向相對設(shè)置且與所述腔體內(nèi)部的腔室連通；

第一微波發(fā)生器，與所述第一開口連接，用于向所述腔室輸送等離子體；

第二微波發(fā)生器，與所述第二開口連接，用于向所述腔室輸送等離子體；

托盤，可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述腔室內(nèi)，所述托盤的第一端面用于支撐晶圓；

泵體，與所述第三開口連接；

加熱部，與所述腔體連接，用于加熱所述晶圓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁沿水平方向相對設(shè)置，所述第一開口開設(shè)于所述第一側(cè)壁的中部位置，所述第二開口開設(shè)于所述第一側(cè)壁的頂部位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一側(cè)壁上還開設(shè)有至少一個第四開口，所述第四開口與所述第三開口沿水平方向相對設(shè)置，所述第四開口用于向所述腔室輸送氣體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括：

第一勻流板，設(shè)置在所述腔室內(nèi)靠近所述第一開口的位置處，所述第一勻流板的端面與所述第一開口相對，所述第一勻流板的端面上開設(shè)有多個導(dǎo)流孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括：

聚氣環(huán)，設(shè)置在所述托盤的上方且沿水平方向布置，所述聚氣環(huán)包括進(jìn)氣口和多個出氣孔，所述進(jìn)氣口通過所述聚氣環(huán)內(nèi)部形成的環(huán)空與所述多個出氣孔連通，所述進(jìn)氣口與所述第二開口連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，還包括：

第二勻流板，設(shè)置在所述聚氣環(huán)和所述托盤之間，所述第二勻流板的端面上開設(shè)有多個導(dǎo)流孔，所述第二勻流板的端面與所述聚氣環(huán)的多個出氣孔位置相對。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的裝置，其特征在于，還包括：

加熱環(huán)，通過抬升機(jī)構(gòu)與所述托盤的第一端面連接，所述加熱環(huán)用于套設(shè)在所述晶圓的外圍，所述抬升機(jī)構(gòu)用于調(diào)整所述加熱環(huán)與所述晶圓的相對位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述抬升機(jī)構(gòu)包括底座和支臂，所述底座與所述腔體連接，所述支臂與所述底座可轉(zhuǎn)動地連接，所述支臂的一端與所述加熱環(huán)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的裝置，其特征在于，所述加熱部包括第一加熱燈和第二加熱燈，所述腔體具有沿豎直方向相對設(shè)置的頂面和底面，所述第一加熱燈與所述頂面連接，所述第二加熱燈與所述底面連接；所述托盤位于所述第一加熱燈和所述第二加熱燈之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述第一加熱燈朝向所述腔室內(nèi)部的一側(cè)端面上設(shè)置有第一石英板，所述第二加熱燈朝向所述腔室內(nèi)部的一側(cè)端面上設(shè)置有第二石英板。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的裝置，其特征在于，所述加熱部還包括第三加熱燈，環(huán)設(shè)在所述腔體的側(cè)壁上。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的裝置，其特征在于，還包括：

氣浮旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述腔室內(nèi)，且與所述托盤的第二端面對應(yīng)設(shè)置；所述氣浮旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有多個噴嘴，所述多個噴嘴與供氣管路連接，所述多個噴嘴用于驅(qū)動所述托盤懸浮并旋轉(zhuǎn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的裝置，其特征在于，還包括：

傳感器，與所述腔體連接，所述傳感器的檢測端延伸至所述腔室。