[發(fā)明專利]一種高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210899625.0
• 申請日: 2022-07-28
• 公開（公告）號: CN115254424B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王福清
• 申請（專利權(quán)）人: 上海協(xié)微環(huán)境科技有限公司
• 主分類號: B03C3/017
• 分類號: B03C3/017;B03C3/011;B03C3/41;B03C3/49;B03C3/34
• 代理公司: 北京天達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所有限公司 11386
• 代理人: 程虹

本發(fā)明公開了一種高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體有害氣體處理技術(shù)領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有技術(shù)中噴淋塔無法捕集粒徑較小的粉塵顆粒容易堵塞后續(xù)的出氣管、未被捕集的粉塵顆粒排放至大氣環(huán)境中造成環(huán)境污染的問題。該尾氣處理系統(tǒng)包括沿尾氣流動方向依次連接的燃燒反應(yīng)器、水箱、噴淋塔、帶電除塵器和出氣管；帶電除塵器包括陽極沉淀筒以及設(shè)于陽極沉淀筒內(nèi)的陰極，陽極沉淀筒與噴淋塔的出氣口連接，陰極與供電單元連接，陽極沉淀筒接地。該高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)可用于泛半導(dǎo)體加工工藝產(chǎn)生的尾氣處理。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體有害氣體處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，對于尾氣中的粉塵顆粒通常采用噴淋塔進行捕集，但是，噴淋塔僅能夠捕集粒徑較大的粉塵顆粒，對于粒徑較小的未被噴淋塔捕集的粉塵顆粒隨著尾氣直接排放至出氣管中，容易造成出氣管的堵塞。

此外，未被捕集的粉塵顆粒還會通過出氣管排放至大氣環(huán)境中，造成環(huán)境污染。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上分析，本發(fā)明旨在提供一種高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中噴淋塔無法捕集粒徑較小的粉塵顆粒容易堵塞后續(xù)的出氣管、未被捕集的粉塵顆粒排放至大氣環(huán)境中造成環(huán)境污染的問題。

本發(fā)明的目的主要是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

本發(fā)明提供了一種高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)，包括沿尾氣流動方向依次連接的燃燒反應(yīng)器、水箱、噴淋塔、帶電除塵器和出氣管；帶電除塵器包括陽極沉淀筒以及設(shè)于陽極沉淀筒內(nèi)的陰極，陽極沉淀筒與噴淋塔的出氣口連接，陰極與供電單元連接，陽極沉淀筒接地。

進一步地，燃燒反應(yīng)器和噴淋塔均安裝于水箱的上方，帶電除塵器設(shè)于噴淋塔的上方。

進一步地，燃燒反應(yīng)器包括熱分解腔、反應(yīng)腔和加熱單元，熱分解腔位于反應(yīng)腔的上方，兩者通過流體旋轉(zhuǎn)法蘭連通且不具有重疊區(qū)域，流體旋轉(zhuǎn)法蘭的出液口與反應(yīng)腔連通，流體旋轉(zhuǎn)法蘭用于在反應(yīng)腔內(nèi)壁形成螺旋狀流動的螺旋水膜并帶動反應(yīng)腔內(nèi)的尾氣旋轉(zhuǎn)。

進一步地，水箱包括箱體、設(shè)于箱體內(nèi)壁的防腐蝕層以及設(shè)于箱體上方的水泵，箱體內(nèi)的液體通過水泵供入噴淋塔和流體旋轉(zhuǎn)法蘭中。

進一步地，噴淋塔包括噴淋箱、設(shè)于噴淋箱內(nèi)壁的防腐層以及設(shè)于噴淋箱內(nèi)的填料層、噴淋嘴和多網(wǎng)孔材料層；

沿噴淋箱的進氣口至出氣口方向，填料層、噴淋嘴和多網(wǎng)孔材料層依次設(shè)置。

進一步地，陽極沉淀筒遠離噴淋塔的一端設(shè)有清壁噴嘴。

進一步地，噴淋塔通過緩沖管與陽極沉淀筒連接。

進一步地，沿噴淋塔至陽極沉淀筒方向，緩沖管的截面面積逐漸增大。

進一步地，緩沖管靠近噴淋塔的一端沿軸向設(shè)有多個均流板，均流板上開設(shè)均流孔，相鄰兩個均流板上的均流孔交錯布置。

進一步地，尾氣處理系統(tǒng)適用于粒徑為0.1～100μm的粉塵顆粒的捕集。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明至少可實現(xiàn)如下有益效果之一：

本發(fā)明提供的高效除塵的尾氣處理系統(tǒng)通過在噴淋塔后續(xù)設(shè)置帶電除塵器，帶電除塵器中，供電單元提供的高壓電流通入陰極，與接地的陽極沉淀筒間產(chǎn)生不平衡的電場，不平衡電場產(chǎn)生電暈放電將陰極與陽極沉淀筒之間的氣體電離，氣體中的電子向陽極沉淀筒運動，撞到粉塵顆粒使粉塵顆粒攜帶電子而帶負電，帶負電的粉塵顆粒在電場作用下繼續(xù)向陽極沉淀筒運動，到達陽極沉淀筒后放出電子，粉塵顆粒則沉積在陽極沉淀筒上，從而實現(xiàn)微小粉塵顆粒的捕集，有效解決后續(xù)出氣管堵塞以及帶有粉塵顆粒的尾氣排至環(huán)境中導(dǎo)致環(huán)境污染的問題。