[發明專利]一種TCS預冷還原尾氣節能裝置

在審

• 申請號: 202210896837.3
• 申請日: 2022-07-28
• 公開（公告）號: CN115318017A
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 張立;段開勇;舒俊
• 申請（專利權）人: 青海麗豪半導體材料有限公司
• 主分類號: B01D46/02
• 分類號: B01D46/02;B01D46/10;B01D46/42;B01D46/62;F28D21/00
• 代理公司: 青海中贏知識產權代理事務所(普通合伙) 63104
• 代理人: 莫文新

本發明公開了一種TCS預冷還原尾氣節能裝置，涉及多晶硅生產設備技術領域。本發明包括硅粉處理箱和TCS預冷換熱器，硅粉處理箱的右側壁上螺紋連接有輸送管，硅粉處理箱通過輸送管與TCS預冷換熱器連通，TCS預冷換熱器的上下兩端側壁中安裝有通斷閥，TCS預冷換熱器的上下兩端通過通斷閥分別與冷TCS管和熱TCS管連通，TCS預冷換熱器的右側壁上螺紋連接有尾氣管，TCS預冷換熱器的前側壁上安裝有箱蓋板。本發明通過利用硅粉處理箱對尾氣中粉塵進行收集和處理，避免尾氣中粉塵進入到TCS預冷換熱器內影響其正常工作，而TCS預冷換熱器可降低尾氣回收冷凝段對冷量介質的使用，也使得TCS溫度升高起到預熱的目的。

技術領域

本發明屬于多晶硅生產設備技術領域，特別是涉及一種TCS預冷還原尾氣節能裝置。

背景技術

隨著時代與科技的發展，現階段中在多晶硅生產過程中需要利用多種設備相互配合進行，其中各項科技型的設備不但可有效的降低多晶硅的生產難度，同時也能降低多晶硅的生產風險，其中在各項多晶硅生產工藝中最為重要的一項即為尾氣處理，只有將生產過程中所產生的尾氣進行凈化處理，使其達到排放標準才可進行合理合規的排放，并且在尾氣凈化處理過程中對可再利用的廢料進行回收，不但可降低生產成本，同時也能節約生產資源，但它在實際使用中仍存在以下弊端：

1、現有的用于多晶硅生產的還原尾氣節能裝置，現有的多晶硅生產中此處未結合實際工況進行配套合理裝置，不能降低公輔冷量使用以及蒸汽的消耗，進而造成能源消耗巨大，同時也造成生產成本過高的問題；

2、現有的用于多晶硅生產的還原尾氣節能裝置，其在多晶硅生產中多采用蒸汽加熱，而后采用TCS預熱器進行TCS預熱，進而混合含有硅粉的氣體會直接進入到TCS預熱器內，即TCS預熱器容易被硅粉磨穿的問題。

因此，現有的TCS預冷還原尾氣節能裝置，無法滿足實際使用中的需求，所以市面上迫切需要能改進的技術，以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種TCS預冷還原尾氣節能裝置，通過利用硅粉處理箱對尾氣中粉塵進行收集和處理，避免尾氣中粉塵進入到TCS預冷換熱器內影響其正常工作，而TCS預冷換熱器可降低尾氣回收冷凝段對冷量介質的使用，也使得TCS溫度升高起到預熱的目的，解決了現有的用于多晶硅生產的還原尾氣節能裝置所出現的問題。

為解決上述技術問題，本發明是通過以下技術方案實現的：

本發明為一種TCS預冷還原尾氣節能裝置，包括硅粉處理箱和TCS預冷換熱器，所述硅粉處理箱的右側壁上螺紋連接有輸送管，所述硅粉處理箱通過輸送管與TCS預冷換熱器連通，所述TCS預冷換熱器的上下兩端側壁中安裝有通斷閥，所述TCS預冷換熱器的上下兩端通過通斷閥分別與冷TCS管和熱TCS管連通，所述TCS預冷換熱器的右側壁上螺紋連接有尾氣管，所述TCS預冷換熱器的前側壁上安裝有箱蓋板。

進一步地，所述硅粉處理箱的左右兩端側壁上均螺紋連接有連通管，所述硅粉處理箱的前后兩側內壁通過螺栓與滑板連接，所述硅粉處理箱通過滑板與處理板滑動連接；具體的，滑板呈U型結構設置，且處理板的頂端側壁相比較其底部較為寬大，進而保證了硅粉處理箱與處理板之間銜接的穩定性和氣密性。

進一步地，所述處理板的內部開設有處理槽，所述處理槽的一側內壁通過銜接框與收塵袋連接，所述處理槽的另一側中卡接設置有凈化板；具體的，收塵袋的開口端朝向硅粉處理箱的左端側壁的進氣口，而收塵袋外部的銜接框與凈化板之間間隙設置。

進一步地，所述TCS預冷換熱器的后側壁、箱蓋板的后側壁均通過螺栓與擠壓板連接，所述TCS預冷換熱器的后側壁上的擠壓板與箱蓋板外壁上的擠壓板之間設置有TCS換熱芯。

進一步地，所述TCS換熱芯呈豎直疊放式結構設置，且TCS換熱芯的兩側外壁分別朝向輸送管和尾氣管，所述輸送管和尾氣管之間同軸心線設置；具體的，通過輸送管輸送進入到TCS預冷換熱器內的氣體，通過TCS換熱芯的換熱工作后，而后輸送到尾氣管中進行排放。