[發明專利]晶圓盒真空裝載裝置

有效

• 申請號: 202210880915.0
• 申請日: 2022-07-26
• 公開（公告）號: CN114937626B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 戴建波;朱磊;孫文彬
• 申請（專利權）人: 江蘇邑文微電子科技有限公司;無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 宋家會

1.一種晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述晶圓盒真空裝載裝置包括：

裝載腔體（1），用于裝載晶圓盒（200）；

密封框（3），安裝在所述裝載腔體（1）的內部、且與所述裝載腔體（1）的內壁密封連接，形成密封空腔（31），所述密封空腔（31）與所述裝載腔體（1）用于裝載所述晶圓盒（200）的空腔隔絕，所述密封框（3）上開設有安裝通孔；

透光板（4），安裝在所述安裝通孔內、且與所述密封框（3）密封連接；

非真空型傳感器（5），安裝在所述密封空腔（31）內，所述非真空型傳感器（5）用于發出光線（51）穿過所述透光板（4）、并檢測所述裝載腔體（1）內是否裝入所述晶圓盒（200）；

其中，所述裝載腔體（1）的所述內壁上開設有穿線孔（101），所述穿線孔（101）的一端與所述密封空腔（31）連通，所述穿線孔（101）的另一端與所述裝載腔體（1）的外部連通，所述非真空型傳感器（5）的連接線從所述穿線孔（101）引出。

2.根據權利要求1所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述晶圓盒真空裝載裝置還包括：

反射板（6），安裝在所述裝載腔體（1）的內部、且與所述非真空型傳感器（5）發出的光線（51）正對設置，所述反射板（6）用于將所述非真空型傳感器（5）發出的光線（51）反射回所述非真空型傳感器（5），所述晶圓盒（200）裝入所述裝載腔體（1）之后將阻斷所述光線（51）。

3.根據權利要求2所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述晶圓盒真空裝載裝置還包括：

支架（2），安裝在所述裝載腔體（1）的內部，所述支架（2）用于承載所述晶圓盒（200）；

傳動桿（11），活動連接在所述支架（2）上，所述晶圓盒（200）放置在所述支架（2）上之后將推動所述傳動桿（11）阻斷所述光線（51）。

4.根據權利要求3所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述支架（2）上開設有連接通孔（21），所述傳動桿（11）貫穿所述連接通孔（21）、且與所述支架（2）鉸接，所述晶圓盒（200）放置在所述支架（2）上之后將壓下所述傳動桿（11）的一端，所述傳動桿（11）的另一端翹起、阻斷所述光線（51）。

5.根據權利要求4所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述傳動桿（11）為Z字形結構，所述傳動桿（11）的中部貫穿所述連接通孔（21）、且與所述支架（2）鉸接。

6.根據權利要求5所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述傳動桿（11）包括依次連接的第一水平段（111）、豎直段（112）和第二水平段（113），所述第一水平段（111）位于所述支架（2）的上側，所述豎直段（112）貫穿所述連接通孔（21）、且與所述支架（2）鉸接，所述第二水平段（113）位于所述支架（2）的下側，所述第二水平段（113）用于阻斷所述光線（51）。

7.根據權利要求3所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述反射板（6）安裝在所述支架（2）的底部，所述非真空型傳感器（5）安裝在所述裝載腔體（1）的底部。

8.根據權利要求1所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述晶圓盒真空裝載裝置還包括：

第一密封圈（8），夾持在所述密封框（3）與所述裝載腔體（1）的內壁之間；

第二密封圈（9），夾持在所述密封框（3）與所述透光板（4）之間。

9.根據權利要求1所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述晶圓盒真空裝載裝置還包括：

壓蓋（7），通過螺栓連接在所述密封框（3）上、且將所述透光板（4）壓緊在所述密封框（3）上；

第三密封圈（10），夾持在所述透光板（4）與所述壓蓋（7）之間。

10.根據權利要求1所述的晶圓盒真空裝載裝置，其特征在于，所述透光板（4）為石英玻璃。