[發明專利]一種納米探針及其制備方法

有效

• 申請號: 202210879567.5
• 申請日: 2022-07-25
• 公開（公告）號: CN115236371B
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 陳慶水
• 申請（專利權）人: 東莞市竹菱銅業有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 廣東靈頓知識產權代理事務所(普通合伙) 44558
• 代理人: 陳丹萍

本發明公開了一種納米探針及其制備方法，包括探針座、電磁鐵、導磁桿、導電管、導電套和鐵磁性導電顆粒；所述電磁鐵固定設于探針座內；所述導磁桿的上端活動伸入探針座內后彈性連接在電磁鐵上；所述導電管固定套設于導磁桿的外壁上；所述導電套活動套設于導電管外壁后固定連接在探針座上；所述鐵磁性導電顆粒被磁性吸附于導磁桿的外壁上形成有至少一層與導電管電性連通的顆粒導電層；本發明通過控制電磁鐵的通電電流大小，能夠改變導磁桿上磁性吸附的鐵磁性導電顆粒形成的顆粒導電層的吸附層數，從而改變探針的規格，獲得不同規格和不同電氣參數的探針，無需更換探針，提高測試效率，提高探針的使用靈活性。

技術領域

本發明涉及一種納米探針及其制備方法。

背景技術

在半導體芯片封裝領域內，現有電子探針均為多段固定式彈性結構，其與封裝檢測基座的集成電路板接觸導通的工作端尺寸固定，然而，根據測試不同工作需求，往往需要更換不同規格的探針進行測試，導致測試效率低，探針使用極為不靈活。

發明內容

本發明的目的在于克服以上所述的缺點，提供一種納米探針及其制備方法。

為實現上述目的，本發明的具體方案如下：

一種納米探針，包括探針座、電磁鐵、導磁桿、導電管、導電套和鐵磁性導電顆粒；

所述電磁鐵固定設于探針座內；所述導磁桿的上端活動伸入探針座內后彈性連接在電磁鐵上；所述導電管固定套設于導磁桿的外壁上；所述導電套活動套設于導電管外壁后固定連接在探針座上；所述鐵磁性導電顆粒被磁性吸附于導磁桿的外壁上形成有至少一層與導電管電性連通的顆粒導電層。

本發明進一步地，還包括有顆粒導筒、電磁閥、顆粒導管和磁屏蔽管；所述顆粒導筒型面套設于探針座的外壁，且與探針座之間形成有氣室腔；所述電磁閥設于顆粒導筒的外頂部，并用于控制氣室腔與外界氣泵的通斷；

所述電磁鐵包括電磁線圈和電磁鐵芯，所述電磁線圈和電磁鐵芯均固定設于探針座內；

所述導磁桿彈性連接在電磁鐵芯上；所述顆粒導管的一端連接在電磁閥上，所述顆粒導管的另一端與氣室腔連通；所述探針座內設有第一顆粒通道，所述磁屏蔽管沿導磁桿的軸線穿設于導磁桿內并貫穿電磁鐵芯后與第一顆粒通道連通。

本發明進一步地，所述電磁鐵芯的下端沿其軸線設有第一軸孔，所述導磁桿的上端滑動伸入第一軸孔內，所述第一軸孔內設有緩沖彈簧，所述緩沖彈簧的兩端分別與導磁桿和第一軸孔的內頂相抵接。

本發明進一步地，所述電磁閥包括閥體、閥線圈和閥芯，所述閥體固定在顆粒導筒的頂端，所述閥體內具有閥腔，所述閥體設置有上下對應的且與閥腔連通的第一入口和第一出口，所述閥體設置有上下對應的且與閥腔連通的第二入口和第二出口；所述第一出口與氣室腔連通，所述顆粒導管連接在第二出口上；所述閥線圈安裝在閥體的一端，所述閥芯設于閥腔內，所述閥芯的一端貫穿閥體后與閥線圈連接。

本發明進一步地，所述導磁桿的下端部設有柔性墊，所述柔性墊沿周向均布第二顆粒通道。

本發明進一步地，所述探針座開設有第二軸孔，所述電磁鐵設于第二軸孔的內頂，所述導電套固定在第二軸孔的開口位置。

本發明進一步地，所述鐵磁性導電顆粒為納米銅顆粒，所述納米銅顆粒呈六棱錐結構，所述納米銅顆粒的小端沉積附著有鐵磁性材料層。

本發明進一步地，所述鐵磁性材料層的厚度大于0.1mm。

本發明的有益效果為：本發明通過控制電磁鐵的通電電流大小，能夠改變導磁桿上磁性吸附的鐵磁性導電顆粒形成的顆粒導電層的吸附層數，從而改變探針的規格，獲得不同規格和不同電氣參數的探針，無需更換探針，提高測試效率，提高探針的使用靈活性。

附圖說明

圖1是本發明的剖面示意圖；