[發(fā)明專利]一種C/C復合材料抗氧化涂層工藝及涂層有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210868731.2 | 申請日： | 2022-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN115231930B | 公開（公告）日： | 2023-08-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 呂磊;魏立博;霍紅星;楊榮清;段玉 | 申請（專利權）人： | 青島晶易新材料科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/622 | 分類號： | C04B35/622;C04B35/83 |
| 代理公司： | 青島雙合知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 37342 | 代理人： | 張明利 |
| 地址： | 266000 山東省青島*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 復合材料 氧化 涂層 工藝 | ||
1.一種C/C復合材料抗氧化涂層工藝，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S10、將待涂層的基體置于沉積爐內(nèi)，在保持沉積爐內(nèi)壓力穩(wěn)定的基礎上，小流量多次向沉積爐內(nèi)通入天然氣直至天然氣總流量達到工藝要求，開始致密化涂層工藝20-30小時；
步驟S20、將沉積爐內(nèi)降壓并降低天然氣流量，繼續(xù)致密化涂層工藝20-30小時；
步驟S10具體為：
步驟S11、將基體裝入至沉積爐內(nèi)，對沉積爐抽真空以排空沉積爐內(nèi)的空氣，然后將沉積爐升溫至1000℃-1150℃，將沉積爐內(nèi)壓力調(diào)整為1300Pa-1800Pa；
步驟S12、向沉積爐外室內(nèi)通140L/min-160L/min氮氣，重新開啟真空系統(tǒng)抽真空至壓力在1300±50Pa-1700±50Pa范圍內(nèi)穩(wěn)定后停止抽真空，再向沉積爐內(nèi)室內(nèi)通80L/min-120L/min氮氣，重新開啟真空系統(tǒng)抽真空至壓力在1300±50Pa-1800±50Pa范圍內(nèi)穩(wěn)定后停止抽真空；
步驟S13、向沉積爐的內(nèi)室內(nèi)再通入40L/min-60L/min天然氣，重新開啟真空系統(tǒng)抽真空至壓力在1300±50Pa-1800±50Pa范圍內(nèi)穩(wěn)定后停止抽真空，重復此步驟直至外室氮氣流量為140L/min-160L/min，內(nèi)室氮氣流量為80L/min-120L/min，天然氣流量為280L/min-320L/min，開始致密化涂層工藝；
步驟S20具體為：
將沉積爐內(nèi)的壓力由1300±50Pa-1700±50Pa降低至1000±50Pa-1400±50Pa，保持內(nèi)室及外室的氮氣流量不變，將天然氣流量下降至180L/min-220L/min，繼續(xù)致密化涂層工藝。
2.根據(jù)權利要求1所述的C/C復合材料抗氧化涂層工藝，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S10、將待涂層的基體置于沉積爐內(nèi)，在保持沉積爐內(nèi)壓力穩(wěn)定的基礎上，小流量多次向沉積爐內(nèi)通入天然氣直至天然氣總流量達到工藝要求，開始致密化涂層工藝20-30小時；
步驟S20、將沉積爐內(nèi)降壓并降低天然氣流量，繼續(xù)致密化涂層工藝20-30小時；
步驟S10具體為：
步驟S11、將基體裝入至沉積爐內(nèi)，對沉積爐抽真空以排空沉積爐內(nèi)的空氣，然后將沉積爐升溫至1070℃，將沉積爐內(nèi)壓力調(diào)整為1500Pa；
步驟S12、向沉積爐外室內(nèi)通150L/min氮氣，重新開啟真空系統(tǒng)抽真空至壓力在1500±50Pa范圍內(nèi)穩(wěn)定后停止抽真空，再向沉積爐內(nèi)室內(nèi)通100L/min氮氣，重新開啟真空系統(tǒng)抽真空至壓力在1500±50Pa范圍內(nèi)穩(wěn)定后停止抽真空；
步驟S13、向沉積爐的內(nèi)室內(nèi)再通入50L/min天然氣，重新開啟真空系統(tǒng)抽真空至壓力在1500±50Pa范圍內(nèi)穩(wěn)定后停止抽真空，重復此步驟直至外室氮氣流量為150L/min，內(nèi)室氮氣流量為100L/min，天然氣流量為300L/min，開始致密化涂層工藝25小時；
步驟S20具體為：
步驟S21、將沉積爐內(nèi)的壓力由1500Pa降低至1200Pa，保持內(nèi)室及外室的氮氣流量不變，將天然氣流量下降至180L/min-220L/min，繼續(xù)致密化涂層工藝25小時；
步驟S22、將沉積爐內(nèi)的壓力由1500Pa降低至1200Pa，保持內(nèi)室及外室的氮氣流量不變，將天然氣流量下降至180L/min-220L/min，繼續(xù)致密化涂層工藝25小時；
致密化涂層工藝結束后，停止通電，關閉真空系統(tǒng)，停止通入天然氣，將氮氣繼續(xù)通入至沉積爐內(nèi)至沉積爐內(nèi)壓力為常壓時放氣，待沉積爐內(nèi)溫度冷卻至室溫后停止通入氮氣，在基體上獲得抗氧化涂層。
3.根據(jù)權利要求1所述的C/C復合材料抗氧化涂層工藝，其特征在于，所述基體為堝邦，堝邦的裝爐方式如下：多個堝邦分層疊放于沉積爐的進氣分流板上后頂置一第一蓋板，進氣分流板與相鄰堝邦之間、相鄰堝邦之間、第一蓋板與相鄰堝邦之間均設置石墨墊塊相隔，裝料完成后將一限氣筒套設于料柱外側，限氣筒的頂部蓋設有第二蓋板，至此完成單個料柱安裝，將單個料柱吊入至沉積爐指定位置上。
4.根據(jù)權利要求3所述的C/C復合材料抗氧化涂層工藝，其特征在于，相鄰堝邦之間呈反向疊放。
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