[發明專利]載流子濃度鎵基液態金屬測量探頭及其裝置

在審

• 申請號: 202210858509.4
• 申請日: 2022-07-20
• 公開（公告）號: CN115078949A
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 王昕;葉燦明;王世進;李俊生
• 申請（專利權）人: 廣州昆德半導體測試技術有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 廣州匯盈知識產權代理事務所(普通合伙) 44603
• 代理人: 許浩達

1.一種載流子濃度鎵基液態金屬測量探頭，包括導電線，其特征在于：所述導電線連接碳化鎢棒，碳化鎢棒的一端伸入由抗腐蝕材料制成的液態金屬容器中；所述液態金屬容器開設有貫通的容腔和毛細管，容腔連通毛細管；所述容腔內部填注鎵基液態金屬，鎵基液態金屬浸沒碳化鎢棒，鎵基液態金屬在外力的作用下能夠在毛細管中流動。

2.根據權利要求1所述的載流子濃度鎵基液態金屬測量探頭，其特征在于：所述容腔連通毛細管，毛細管開設有導柱，導柱采用抗腐蝕材料制成。

3.根據權利要求1所述的載流子濃度鎵基液態金屬測量探頭，其特征在于：所述毛細管底端由罩蓋密封。

4.根據權利要求1所述的載流子濃度鎵基液態金屬測量探頭，其特征在于：所述鎵基液態金屬包括EGaIn、GaIn10、GaIn20或GalnSn。

5.根據權利要求1所述的載流子濃度鎵基液態金屬測量探頭，其特征在于：所述容腔的開口設置蓋板，蓋板穿插碳化鎢棒，碳化鎢棒的另一端露出蓋板之外。

6.一種載流子濃度鎵基液態金屬測量裝置，包括導電線，其特征在于：所述導電線連接碳化鎢棒，碳化鎢棒的一端伸入由抗腐蝕材料制成的液態金屬容器中；所述液態金屬容器開設有貫通的容腔和毛細管，容腔連通毛細管；所述容腔內部填注鎵基液態金屬，鎵基液態金屬浸沒碳化鎢棒；所述容腔的開口設置蓋板，蓋板穿插碳化鎢棒，碳化鎢棒的另一端露出蓋板之外；所述蓋板開設有若干個氣孔；

所述液態金屬容器和蓋板被筒體和筒座封裝，筒體和筒座螺紋連接成一體，筒體與容腔所構成的內部空間用于通入惰性氣體或空氣，且筒座與液態金屬容器外側面所構成的內部空間用于通入惰性氣體或空氣；所述導電線引出筒體之外，筒體連通有氣管快速接頭；所述筒座連通有氮氣保護快速接頭。

7.根據權利要求6所述的載流子濃度鎵基液態金屬測量裝置，其特征在于：所述蓋板的背面粘貼有防水透氣膜。