[發(fā)明專利]晶圓運輸盒

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210858117.8
• 申請日: 2022-07-20
• 公開（公告）號: CN115775758A
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發(fā)明（設計）人: 金相振
• 申請（專利權）人: 3S韓國株式會社
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 全振永;金光軍

1.一種晶圓運輸盒，包括：

下部殼體(200)，包括底板(201)和一個以上的下部擋邊(210)，所述一個以上的下部擋邊(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，以在內部空間(A)中堆疊晶圓；

上部殼體(100)，包括頂板(101)和上部擋邊(110)，所述上部擋邊(110)垂直形成于所述頂板(101)的下表面以形成弧形的壁；及

側壁部件(300)，結合于所述下部擋邊(210)的內側，

其中，當所述上部殼體(100)與下部殼體(200)結合時，所述側壁部件(300)固定堆疊在所述內部空間(A)中的晶圓。

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部殼體(200)在底板(201)的上表面的每個邊角處包括與所述上部殼體(100)結合時進行結合固定的一個以上的閂鎖(250)，

所述上部殼體(100)在頂板(101)的每個邊角處的對應于所述閂鎖(250)的位置包括結合固定所述閂鎖的一個以上的閂鎖孔(150)。

3.根據(jù)權利要求2所述的晶圓運輸盒，其中，

所述閂鎖(250)包括：

第一閂鎖部件(252)，位于所述底板(201)上的所述下部擋邊(210)的外側，并在所述底板(210)的上表面形成有底部；

第二閂鎖部件(251)，在所述第一閂鎖部件(252)沿垂直方向形成為與所述下部擋邊(210)相面對；及

第三閂鎖部件(253)，向所述第二閂鎖部件(251)的內側面突出，

其中，當所述上部殼體(100)與下部殼體(200)結合時，所述第三閂鎖部件(253)固定結合于所述閂鎖孔(150)。

4.根據(jù)權利要求3所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部殼體(200)還包括：

支撐部件(220)，支撐所述下部擋邊(210)，

其中，所述支撐部件(220)布置于所述閂鎖(250)和所述下部擋邊(210)之間，并且形成為在所述下部擋邊(210)的下端部沿著所述下部擋邊(210)形成弧形。

5.根據(jù)權利要求1所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部殼體(200)還包括側壁部件凹槽(230)，在所述下部擋邊(210)內側構成有空間，

所述側壁部件(300)還包括側壁固定部件(330)，在所述側壁部件(300)下端部突出，

其中，所述側壁固定部件(330)結合于所述側壁部件凹槽(230)，從而將所述側壁部件(300)固定于所述下部殼體(200)。

6.根據(jù)權利要求5所述的晶圓運輸盒，其中，

所述上部殼體(100)在上部擋邊(110)內側還包括內側部件(111)，

其中，當所述上部殼體(100)與下部殼體(200)結合時，所述內側部件(100)與所述側壁部件(300)的上端接觸，所述下部擋邊(210)與所述側壁部件(300)的下端接觸，以固定堆疊在內部空間(A)中的晶圓。

7.根據(jù)權利要求1所述的晶圓運輸盒，其中，

所述上部殼體(100)還包括：

第一突出部件(131)，在所述上部殼體(100)的下表面向下部突出；

第二突出部件(132)，在所述第一突出部件(131)的內側，在所述上部殼體(100)的下表面向下部突出，

其中，當所述上部殼體(100)與下部殼體(200)結合時，所述第一突出部件(131)插入結合于所述側壁部件(300)上端與環(huán)形框架之間，

所述第二突出部件(132)按壓并固定最上端的晶圓。

8.根據(jù)權利要求5所述的晶圓運輸盒，其中，

所述側壁部件(300)在外側面的中央還包括中間凹槽，

所述下部擋邊(210)還包括在所述下部擋邊(210)上部以預定間隔設置為一個以上的掛接部件(211)，

當所述側壁部件(300)結合于下部殼體(200)時，所述掛接部件(211)結合于所述側壁部件(300)的中央凹槽，以固定側壁部件(300)。