[發(fā)明專利]一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置及其制造方法

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• 申請日: 2022-07-09
• 公開（公告）號(hào): CN115410956A
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈坤良;游利;葉振輝;孫屹
• 申請（專利權(quán)）人: 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;C30B33/00
• 代理公司: 南京志同舟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32489
• 代理人: 陳瑜

本發(fā)明提供一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置，包括與除氣預(yù)熱腔形狀相匹配的內(nèi)襯(1)、柔性加熱管(2)、密封裝置(3)，所述內(nèi)襯(1)的外側(cè)面設(shè)有螺旋溝槽(101)，所述螺旋溝槽(101)均勻向內(nèi)襯(1)的上下兩端延伸，所述螺旋溝槽(101)的形狀與柔性加熱管(2)的形狀相匹配，所述柔性加熱管(2)嵌設(shè)在螺旋溝槽(101)中，并圍繞內(nèi)襯(1)的外側(cè)面設(shè)置，所述密封裝置(3)密封套設(shè)在柔性加熱管(2)上。本發(fā)明還提供一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置的制造方法。本發(fā)明的預(yù)熱裝置使用時(shí)不用拆除原有的除氣預(yù)熱腔，即可對晶圓進(jìn)行預(yù)熱，預(yù)熱更加均勻，安裝和拆除更加方便，且能保證除氣除氣預(yù)熱腔的真空度，有效提升晶圓的除氣效率和良品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置及其制造方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工藝中,在對晶圓進(jìn)行刻蝕工藝時(shí)，需要對晶圓進(jìn)行除氣處理，通過將晶圓放置在除氣腔內(nèi)，通過加熱用以去除晶圓上的水汽、氧氣和易揮發(fā)的液體物質(zhì)。如果去除不徹底，這些殘留的物質(zhì)會(huì)阻止工藝在晶圓表面成膜的效率，且影響成膜的質(zhì)量，導(dǎo)致報(bào)廢率激增。為了提升除氣效果和提高除氣效率，通常在除氣前將晶圓放置于除氣預(yù)熱腔內(nèi)先進(jìn)行預(yù)熱，常規(guī)的除氣預(yù)熱腔采用的是不銹鋼材質(zhì)，利用不銹鋼鏡面輻射進(jìn)行加熱，但是此方案存在溫度不均勻的情況，嚴(yán)重影響除氣效率和產(chǎn)品的良品率，且除氣預(yù)熱腔的拆除難度大，從而維護(hù)清潔難度大。因此，亟需一種新的技術(shù)方案解決以上至少一個(gè)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置，不用拆除原有的除氣預(yù)熱腔，即可對晶圓進(jìn)行預(yù)熱，預(yù)熱更加均勻，安裝和拆除更加方便，且能夠保證除氣預(yù)熱腔的真空度，有效提升晶圓的除氣效率和良品率。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置的制造方法，用于制作本發(fā)明的預(yù)熱裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述的技術(shù)要求，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置，包括與除氣預(yù)熱腔形狀相匹配的內(nèi)襯、柔性加熱管、密封裝置，所述內(nèi)襯的外側(cè)面設(shè)有螺旋溝槽，所述螺旋溝槽均勻向內(nèi)襯的上下兩端延伸，所述螺旋溝槽的形狀與柔性加熱管的形狀相匹配，所述柔性加熱管嵌設(shè)在螺旋溝槽中，并圍繞內(nèi)襯的外側(cè)面設(shè)置，所述密封裝置密封套設(shè)在柔性加熱管上。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述內(nèi)襯為方形，所述螺旋溝槽沿著內(nèi)襯的4個(gè)外側(cè)面設(shè)置。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述密封裝置包括密封軸、固定套設(shè)在密封軸上的密封板、密封管、固定板，所述密封板通過密封管與固定板連接，所述密封軸密封套設(shè)在柔性加熱管上，所述柔性加熱管的一端穿過固定板，所述密封板與密封軸密封連接。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述密封管為金屬波紋管，所述金屬波紋管設(shè)在密封板與固定板之間，所述金屬波紋管的兩端分別與密封板、固定板固定連接。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述密封軸的兩端與設(shè)置有螺紋段，所述螺紋段上套設(shè)有螺帽，所述密封板設(shè)置在2個(gè)螺帽之間。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述密封板為臺(tái)階結(jié)構(gòu)。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述柔性加熱管為鎧裝加熱管，所述鎧裝加熱管包括外殼、設(shè)置在外殼內(nèi)的氧化鎂瓷柱、設(shè)在氧化鎂瓷柱內(nèi)的加熱絲、設(shè)在氧化鎂瓷柱內(nèi)的熱電偶絲。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述內(nèi)襯的材料選用鋁合金。

本發(fā)明還提供一種除氣預(yù)熱腔用晶圓預(yù)熱裝置的制造方法，包括以下步驟：

S1、根據(jù)所述除氣預(yù)熱腔的尺寸加工得到內(nèi)襯；

S2、對柔性加熱管進(jìn)行選型，根據(jù)柔性加熱管的尺寸在所述內(nèi)襯的外表面加工螺旋溝槽；

S3、將所述柔性加熱管嵌入所述螺旋溝槽中，從而將所述柔性加熱管繞在所述內(nèi)襯的外表面上；

S4、按圖紙加工得到密封裝置，將所述密封裝置激光焊接到所述柔性加熱管上。。