[發明專利]晶圓切割機切割刀座在審
| 申請號: | 202210841100.1 | 申請日: | 2022-07-18 |
| 公開(公告)號: | CN115091633A | 公開(公告)日: | 2022-09-23 |
| 發明(設計)人: | 魏余紅;譚將強 | 申請(專利權)人: | 東莞科卓機器人有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/00 | 分類號: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司: | 深圳華奇信諾專利代理事務所(特殊普通合伙) 44328 | 代理人: | 陳子勛 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞市南城*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 切割機 切割 | ||
1.晶圓切割機切割刀座,其特征在于:包括刀座,刀座的一端安裝有切刀,刀座的上端固定有固定座,固定座的一側連接有第一刀套,刀座的上端安裝有刀套氣缸,刀套氣缸驅動固定座,第一刀套位于切刀的一側。
2.根據權利要求1所述的晶圓切割機切割刀座,其特征在于:所述的刀座的另一側安裝有第二刀套,第一刀套、第二刀套分別位于切刀的兩側。
3.根據權利要求1所述的晶圓切割機切割刀座,其特征在于:所述的第一刀套下端具有冷卻管,冷卻管有兩條,分別位于切刀的正面和反面的下部。
4.根據權利要求3所述的晶圓切割機切割刀座,其特征在于:所述的冷卻管朝向切刀的一側開設有冷卻液噴孔。
5.根據權利要求2所述的晶圓切割機切割刀座,其特征在于:所述的第二刀套固定有噴頭,噴頭的下端配設有導向塊,導向塊具有曲面。
6.根據權利要求1所述的晶圓切割機切割刀座,其特征在于:所述的第一刀套安裝有切刀感應器固定座,切刀感應器固定座安裝有切刀感應器,切刀感應器延伸到切刀的端面。
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