[發(fā)明專利]一種芯片加工用拋光裝置及拋光方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210834593.6
• 申請日: 2022-07-14
• 公開（公告）號: CN115122229B
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱子超;王橋;馬梅芳;王四俊;章唐輝;彭紹英
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市力子光電科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B53/017;B24B57/02
• 代理公司: 深圳智匯遠(yuǎn)見知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44481
• 代理人: 趙爍

1.一種芯片加工用拋光裝置，其特征在于：包括轉(zhuǎn)動安裝在機(jī)架上的拋光盤(11)，所述拋光盤(11)上可拆卸式安裝有拋光墊(12)；所述拋光盤(11)的旁側(cè)分別設(shè)置有用于將待加工芯片轉(zhuǎn)移至拋光盤(11)上的上下料機(jī)構(gòu)、用于向拋光盤(11)中心供給拋光液的拋光液供給機(jī)構(gòu)(13)、以及對拋光墊(12)進(jìn)行修整的修整機(jī)構(gòu)；所述拋光盤(11)包括固定安裝在主傳動軸(15)上的主盤(14)，所述主傳動軸(15)轉(zhuǎn)動安裝在機(jī)架上；沿著主盤(14)的徑向向外還設(shè)置有環(huán)帶狀的分盤(16)，所述分盤(16)上固定設(shè)置有分傳動軸(17)，所述分盤(16)、分傳動軸(17)與主盤(14)、主傳動軸(15)同軸設(shè)置，所述分盤(16)滑動安裝在主盤(14)的外圍；

所述機(jī)架上還設(shè)置有用于驅(qū)動拋光盤(11)轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括外接驅(qū)動源的第一驅(qū)動軸(18)，所述第一驅(qū)動軸(18)通過調(diào)速齒輪組與拋光盤(11)傳動連接，所述調(diào)速齒輪組用于調(diào)節(jié)主盤(14)與分盤(16)的轉(zhuǎn)速，使得在拋光盤(11)轉(zhuǎn)動時主盤(14)區(qū)域內(nèi)與分盤(16)區(qū)域內(nèi)的平均線速度相同；

所述主盤(14)上的拋光墊(12)與所述分盤(16)上的拋光墊(12)為分體式；

所述調(diào)速齒輪組包括固定安裝在驅(qū)動軸上的主傳動齒輪(21)、分傳動齒輪(22)，所述主傳動軸(15)上固定設(shè)置有與主傳動齒輪(21)嚙合的主從動齒輪(23)，所述分傳動軸(17)上固定設(shè)置有與分傳動齒輪(22)嚙合的分從動齒輪(24)；所述主傳動齒輪(21)、分傳動齒輪(22)與主從動齒輪(23)、分從動齒輪(24)的傳動比為所述主盤(14)的平均半徑與所述分盤(16)的平均半徑的倒數(shù)之比；

所述上下料機(jī)構(gòu)包括豎直滑動安裝驅(qū)動箱(31)上的伸縮軸(32)，所述驅(qū)動箱(31)固定安裝在機(jī)架上；沿著伸縮軸(32)的周向間隔設(shè)置有水平設(shè)置的支撐桿(33)，沿著所述支撐桿(33)的伸長方向，在所述支撐桿(33)設(shè)置有至少2組夾緊組件，所述夾緊組件用于夾取固定芯片，所述驅(qū)動箱(31)驅(qū)動伸縮軸(32)轉(zhuǎn)動進(jìn)行上料、下料；所述伸縮軸(32)收縮用于對芯片施加壓力，使得芯片能夠豎直向下移動，以恒定壓力與拋光墊(12)接觸；

所述夾緊組件包括轉(zhuǎn)動安裝在支撐桿(33)上的轉(zhuǎn)動柱(41)，所述轉(zhuǎn)動柱(41)的下端固定設(shè)置有用于放置芯片的夾緊模具(42)，所述轉(zhuǎn)動柱(41)為中空狀，所述伸縮軸(32)上還設(shè)置有氣動組件(43)，所述氣動組件(43)通過氣管(44)與轉(zhuǎn)動柱(41)相連；所述氣動組件(43)通過吸氣、放氣使得夾緊模具(42)負(fù)壓、正壓，以此來夾緊固定、松懈放下芯片；

所述轉(zhuǎn)動柱(41)上還固定安裝有轉(zhuǎn)動齒輪(45)，相鄰的轉(zhuǎn)動齒輪(45)相互嚙合，所述支撐桿(33)上還固定設(shè)置有用于驅(qū)動轉(zhuǎn)動齒輪(45)轉(zhuǎn)動的齒輪箱(46)；

所述修整機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝在機(jī)架上的圓桶(51)，所述圓桶(51)水平放置，所述圓桶(51)的桶身上開有螺旋槽(52)和水平槽(53)，所述水平槽(53)沿著圓桶(51)的軸線方向設(shè)置，所述水平槽(53)的兩端分別連接螺旋槽(52)的兩端，所述水平槽(53)的縱截面為斜面，所述水平槽(53)靠近拋光盤(11)一端的槽深大于另一端的槽深；所述螺旋槽(52)的槽深與水平槽(53)靠近拋光盤(11)一端的槽深相同；所述螺旋槽(52)上滑動安裝有滑柱(54)，所述滑柱(54)豎直滑動安裝在滑塊(62)上，沿著滑柱(54)的滑動方向，在滑柱(54)與滑塊(62)之間設(shè)置有第一彈簧(55)；所述機(jī)架上還固定安裝有支撐柱(56)，所述支撐柱(56)沿著拋光盤(11)的徑向開有滑動槽(57)，所述滑塊(62)水平滑動安裝在滑動槽(57)上；沿著滑塊(62)的滑動方向，在支撐柱(56)與滑塊(62)之間設(shè)置有第二彈簧(58)；所述滑塊(62)上還固定安裝有修整桿(59)，所述修整桿(59)沿著拋光盤(11)的徑向水平設(shè)置；所述修整桿(59)靠近拋光盤(11)的一端還設(shè)置有修整刀具(60)；所述修整刀具(60)通過螺紋桿(61)豎直滑動安裝在修整桿(59)上。