[發明專利]一種測試設備

有效

• 申請號: 202210826982.4
• 申請日: 2022-07-14
• 公開（公告）號: CN114904796B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 王樹鋒;梁暉;陳小兵
• 申請（專利權）人: 前海晶方云（深圳）測試設備有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B65G47/82;B65G47/90;B65G47/74
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 張祺浩

本申請公開了一種測試設備。該測試設備包括：基臺設有多個裝卸口；分盤機構連接基臺，分盤機構包括多個承載組件，承載組件與裝卸口一一對應設置，承載組件用于定位載盤；供料機構包括抽屜架、抽拉架、多個托盤料盒和多個頂升件，抽屜架連接于基臺背離分盤機構的一側，抽拉架滑動連接抽屜架，抽拉架設有多個避讓口，多個托盤料盒可拆卸連接抽拉架，且托盤料盒與避讓口一一對應設置，多個頂升件連接于抽屜架，用以通過避讓口伸入至對應的托盤料盒。通過上述方式，本申請提供的測試設備能夠有效地縮短測試設備上下物料的時長及其占地面積也較小。

技術領域

本申請涉及半導體測試技術領域，特別是涉及一種測試設備。

背景技術

現有對晶粒（die）進行檢測的測試裝置中，測試設備體積較大，其所占地面積也較大，且也常因上下料耗時長，而導致測試設備的檢測效率受限，繼而生產進度受影響較大。

發明內容

本申請主要提供一種測試設備，以解決測試設備占地面積大且作業時上下料耗時長的問題。

為解決上述技術問題，本申請采用的一個技術方案是：提供一種測試設備。所述測試設備包括：基臺，設有多個裝卸口；分盤機構，連接所述基臺，所述分盤機構包括多個承載組件，所述承載組件與所述裝卸口一一對應設置，所述承載組件用于定位載盤；供料機構，包括抽屜架、抽拉架、多個托盤料盒和多個頂升件，所述抽屜架連接于所述基臺背離所述分盤機構的一側，所述抽拉架滑動連接所述抽屜架，所述抽拉架設有多個避讓口，所述多個托盤料盒可拆卸連接所述抽拉架，且所述托盤料盒與所述避讓口一一對應設置，所述多個頂升件連接于所述抽屜架，用以通過所述避讓口伸入至對應的所述托盤料盒，并輸送所述托盤料盒收容的多個載盤經所述裝卸口至所述承載組件，或承接自所述裝卸口卸下的載盤并將所述載盤收容至所述托盤料盒。

在一些實施例中，所述抽拉架包括第一底板和連接所述第一底板的第一鎖定件，所述第一底板設有多個所述避讓口，所述多個托盤料盒可拆卸連接所述第一底板；

所述抽屜架包括第二底板和連接所述第二底板的第二鎖定件，所述多個頂升件連接所述第二底板，所述第一底板相對所述第二底板滑動設置；

其中，所述第一鎖定件和所述第二鎖定件相鎖定時，使得所述裝卸口、所述避讓口和所述頂升件對位設置；所述第一鎖定件和所述第二鎖定件解鎖時，使得所述抽拉架可相對所述抽屜架滑動。

在一些實施例中，所述第二底板還設有到位檢測器，所述到位檢測器用于在檢測到所述第一底板達到預設位置時觸發所述第一鎖定件和所述第二鎖定件相鎖定。

在一些實施例中，所述托盤料盒與所述第一底板磁吸連接。

在一些實施例中，所述抽拉架還包括多個電磁件，對應于每一所述避讓口設有至少一個所述電磁件，所述托盤料盒設有至少一個鐵磁件；

其中，所述電磁件在通電時與所述鐵磁件相磁吸，所述電磁件在斷電時解除對所述鐵磁件的磁吸。

在一些實施例中，所述托盤料盒還設有第一定位部，所述第一底板設有與所述第一定位部定位配合的第二定位部，使得所述托盤料盒對應于所述避讓口設置且所述鐵磁件與所述電磁件對位設置。

在一些實施例中，所述托盤料盒還包括：

料框架，用于收容層疊設置的多個載盤，所述鐵磁件連接于所述料框架的一側；

自鎖件，設置于所述料框架的第一料口，用于支撐層疊設置于所述料框架內的載盤；

其中，所述頂升件通過所述第一料口進入所述料框架內。

在一些實施例中，所述料框架包括第一料框、第二料框和多個支撐桿，所述多個支撐桿連接于所述第一料框和所述第二料框之間，所述第一料框設有所述第一料口，所述第二料框設有對接所述裝卸口的第二料口，所述鐵磁件連接于所述第一料框的一側；