[發明專利]一種碲鋅鎘多晶合成裝置及其方法

在審

• 申請號: 202210819389.7
• 申請日: 2022-07-11
• 公開（公告）號: CN115182043A
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 盧鵬薦;曾小龍;張林;章嵩;涂溶;張聯盟;李鵬武;袁珊珊
• 申請（專利權）人: 武漢拓材科技有限公司;武漢理工大學
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/48
• 代理公司: 武漢天領眾智專利代理事務所(普通合伙) 42300
• 代理人: 林琳

本發明公開了一種碲鋅鎘多晶合成裝置及其方法，具體涉及晶體制備技術領域，包括安裝底座，所述安裝底座上表面的四角處均固定連接有支撐柱，且四個支撐柱的底端分別與安裝頂板下表面的四角處固定連接，所述安裝頂板的內壁與固定架的外表面固定連接。本發明通過設置保溫水箱、加熱爐、環形導流管和真空罩，通過一側保溫水箱內部設置的水泵將保溫水箱內的液體注入環形導流管內，同時，通過液體吸收的熱量輔助真空罩升溫，降低提高真空罩內部溫度時所需的資源，使得該合成裝置在使用的過程中可以有效的降低對資源的消耗，降低了生產碲鋅鎘的成本，且通過輔助加快升溫以及降溫的方式進而對碲鋅鎘的加工質量起到了保障效果。

技術領域

本發明涉及晶體制備技術領域，更具體地說，本發明涉及一種碲鋅鎘多晶合成裝置及其方法。

背景技術

當前，大面陣紅外焦平面器件需要更大尺寸的碲鋅鎘單晶襯底，而在CdZnTe單晶制備工藝中，成功合成大直徑多晶料則是獲得大尺寸碲鋅鎘單晶襯底的關鍵前提，現階段的大規模工業化合成碲鋅鎘過程中經常遇到化學反應劇烈產生的石英坩堝容器爆炸問題，導致材料氧化報廢以及設備損毀而造成很大的經濟損失，且在加工制備的過程中其需要快速的進行升溫以及降溫，然而在散熱的過程中流失的大量的熱量資源，導致在后續處理碲鋅鎘的過程中難以對熱量資源進行利用，且散熱效率也受到影響，不僅對環境造成的一定的影響，且難以保障對碲鋅鎘的加工效率，導致碲鋅鎘容易因未能及時降溫而降低其加工品質。

發明內容

為了克服現有技術的上述缺陷，本發明提供了一種碲鋅鎘多晶合成裝置及其方法，本發明所要解決的技術問題是：在加工制備的過程中其需要快速的進行升溫以及降溫，然而在散熱的過程中流失的大量的熱量資源，導致在后續處理碲鋅鎘的過程中難以對熱量資源進行利用，且散熱效率也受到影響，不僅對環境造成的一定的影響，且難以保障對碲鋅鎘的加工效率，導致碲鋅鎘容易因未能及時降溫而降低其加工品質的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種碲鋅鎘多晶合成裝置，包括安裝底座，所述安裝底座上表面的四角處均固定連接有支撐柱，且四個支撐柱的底端分別與安裝頂板下表面的四角處固定連接，所述安裝頂板的內壁與固定架的外表面固定連接，所述固定架的上表面固定連接有驅動裝置，所述驅動裝置的底端絲杠的頂端固定連接，所述絲杠的外表面套接在軸承內，所述軸承卡接在固定架的下表面，所述絲杠的外表面螺紋連接有絲桿螺母，所述絲桿螺母的左右兩側面分別與兩個保持架的相對面固定連接，且兩個保持架的上表面均固定連接有伸縮桿，兩個伸縮桿的頂端均與固定架的下表面固定連接，所述伸縮桿的底端穿過保持架與加熱爐的上表面固定連接，所述絲杠的底端與生長爐的上表面固定連接，所述生長爐的下表面與輔助桿的頂端固定連接，所述輔助桿的底端通過套筒卡接在安裝底座的上表面，所述安裝底座的上表面固定連接有真空罩。

作為本發明的進一步方案：所述固定架設置為十字形，所述伸縮桿設置為多節伸縮桿，所述生長爐的外表面設置有密封門，兩個加熱爐的下表面固定連接有同一個支撐架。

作為本發明的進一步方案：所述真空罩的外表面設置有若干個環形導流管，對應兩個環形導流管通過連接裝置相連通，位于上方的環形導流管的外表面與第二導管背面的一端相連通，所述第二導管的另一端與位于前方的保溫水箱的上表面相連通。

作為本發明的進一步方案：所述保溫水箱的數量為兩個，且兩個保溫水箱的下表面分別與兩個安裝板的上表面固定連接，兩個安裝板的相對面分別與安裝底座的正面和背面固定連接，位于后方的保溫水箱的外表面通過管道與位于下方的環形導流管相連通，所述安裝底座的下表面的四角處均設置有吸盤，且兩個保溫水箱內均設置有水泵。

作為本發明的進一步方案：所述驅動裝置包括安裝架，所述安裝架的下表面與固定架的上表面固定連接，所述安裝架的內壁與驅動裝置的外表面固定連接，所述驅動裝置的底端與絲杠的頂端固定連接。

作為本發明的進一步方案：所述連接裝置包括兩個三通，且兩個三通分別套接在對應兩個環形導流管的外表面，且兩個三通相對面的一端通過第一導管相連通。