[發明專利]一種硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法及測試裝置

在審

• 申請號: 202210818408.4
• 申請日: 2022-07-12
• 公開（公告）號: CN115015030A
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 汪雷;祝洪良;陳靜;汪樂
• 申請（專利權）人: 海寧硅泰科技有限公司
• 主分類號: G01N7/18
• 分類號: G01N7/18
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 傅朝棟;張法高

1.一種硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法，其特征在于，具體如下：

將硅基材料和反應溶液先后放入密閉反應器(1)中，通過壓力傳感器(2)監測密閉反應器(1)中氣體的壓力變化，根據密閉反應器(1)內腔的容積、溫度和氣體壓力變化，利用氣態方程得到氣體摩爾數，進而根據硅基材料和反應溶液的化學反應方程式得到反應消耗的未氧化的硅含量，隨后根據硅基材料初始質量得到完全氧化的硅含量，根據硅基材料的化學式得到其氧含量，進而得到硅基材料的硅氧比例。

2.根據權利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法，其特征在于，所述硅基材料為SiO_x(0≤x≤2)或其復合材料。

3.根據權利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法，其特征在于，所述反應溶液為氫氧化鈉、氫氧化鉀、硝酸、氫氟酸、硫酸、鹽酸和四甲基氫氧化銨的水溶液中的至少一種。

4.根據權利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法，其特征在于，所述硅基材料和反應溶液的添加質量比為1:(2～100)。

5.根據權利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法，其特征在于，所述硅基材料和反應溶液的反應溫度為30～120℃。

6.一種用于實現權利要求1～5任一所述測試方法的測試裝置，其特征在于，包括密封反應器(1)；所述密封反應器(1)為具有封閉反應內腔的結構，其上設有加熱裝置(3)和與反應內腔相連的壓力傳感器(2)和溶液室(4)，溶液室(4)用于向反應內腔中加入反應溶液。

7.根據權利要求6所述的測試裝置，其特征在于，所述溶液室(4)通過設有閥門(5)的管路與反應內腔連通。

8.根據權利要求7所述的測試裝置，其特征在于，所述閥門(5)為球閥、截止閥、閘閥、隔膜閥、旋塞閥、針閥和蝶閥中的一種。

9.根據權利要求6所述的測試裝置，其特征在于，所述壓力傳感器(2)外接控制箱(6)，控制箱(6)上設有開關按鈕(8)和用于人機交互的PLC觸摸屏(7)，PLC觸摸屏(7)能實時顯示反應內腔中的氣體壓力和溫度。

10.根據權利要求9所述的測試裝置，其特征在于，所述控制箱(6)與上位機(9)相連，上位機(9)中裝有用于計算硅基材料中硅含量和氧含量的測試模塊。