[發明專利]基板切斷裝置和基板切斷方法

在審

• 申請號: 202210803266.4
• 申請日: 2022-07-07
• 公開（公告）號: CN116282879A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 西田和紀;田端淳;市川克則;中田勝喜
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09;C03B33/033
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;宋曉寶

1.一種基板切斷裝置，對形成有劃線的基板沿該劃線進行切斷，其中，具備：

基板支承件，載置所述基板；以及

切斷桿，與所述基板的所述劃線接觸，

所述切斷桿與所述基板的接觸面中，設定為第一溫度的多個溫熱區域和設定為比所述第一溫度低的第二溫度的多個冷熱區域以交替相鄰的方式排列配置，

使所述溫熱區域和所述冷熱區域沿所述劃線同時進行面接觸來進行切斷。

2.根據權利要求1所述的基板切斷裝置，其中，

所述切斷桿的各所述溫熱區域和各所述冷熱區域分別形成為方形平面，并且形成為與所述基板帶狀地面接觸。

3.根據權利要求1所述的基板切斷裝置，其中，

所述溫熱區域的溫熱源是電熱加熱器，所述冷熱區域的冷熱源是珀爾帖元件。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的基板切斷裝置，其中，

形成有加熱用傳熱元件和冷卻用傳熱元件，所述加熱用傳熱元件在下表面設有形成所述溫熱區域的溫熱面并且具有其溫熱源，所述冷卻用傳熱元件在下表面設有形成所述冷熱區域的冷熱面并且具有其冷熱源，通過將多個所述加熱用傳熱元件和多個所述冷卻用傳熱元件交替排列并組裝到所述切斷桿的框體來形成所述切斷桿。

5.根據權利要求4所述的基板切斷裝置，其中，

設有上下移動機構，所述上下移動機構將所述冷卻用傳熱元件保持為能夠相對于所述切斷桿的框體升降，當所述切斷桿為遠離基板而上浮的待機時，形成為所述冷卻用傳熱元件的冷熱面處于低于所述加熱用傳熱元件的溫熱面的位置。

6.根據權利要求5所述的基板切斷裝置，其中，

設有上下調整機構，所述上下調整機構將所述加熱用傳熱元件保持為能夠相對于所述切斷桿的框體在比所述上下移動機構小的上下范圍內升降，當所述加熱用傳熱元件的各溫熱面與基板接觸時，被調整為溫熱面彼此齊平的姿態。

7.根據權利要求6所述的基板切斷裝置，其中，

所述冷卻用傳熱元件的上下移動機構以及所述加熱用傳熱元件的上下調整機構形成為經由銷部件和引導孔能夠上下移動地懸掛于與所述切斷桿的框體相連的部分。

8.一種基板切斷方法，對形成有劃線的基板沿該劃線進行切斷，其中，

準備由設定為第一溫度的溫熱區域和設定為比所述第一溫度低的第二溫度的冷熱區域以交替相鄰的方式排列配置而成的切斷桿，

沿所述基板的劃線使所述切斷桿的溫熱區域和冷熱區域同時進行面接觸來進行切斷。

9.根據權利要求8所述的基板切斷方法，其中，

將所述冷熱區域能夠上下移動地保持在所述切斷桿的框體上，先使所述冷熱區域與所述基板面接觸，接著使所述冷熱區域和所述溫熱區域同時進行面接觸來進行切斷。