[發明專利]一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件、制備方法及其應用在審
| 申請號: | 202210801656.8 | 申請日: | 2022-07-08 |
| 公開(公告)號: | CN115188882A | 公開(公告)日: | 2022-10-14 |
| 發明(設計)人: | 陸亞林;吳清梅;傅正平;崔璋璋;王建林;黃浩亮;黃秋萍 | 申請(專利權)人: | 中國科學技術大學 |
| 主分類號: | H01L43/08 | 分類號: | H01L43/08;H01L43/10;H01L43/02;H01L43/12;H01L27/22 |
| 代理公司: | 合肥昊晟德專利代理事務所(普通合伙) 34153 | 代理人: | 王林 |
| 地址: | 230000*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 調控 金屬性 磁體 磁性 器件 制備 方法 及其 應用 | ||
1.一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,包括襯底、磁性層、底電極、絕緣層、頂電極,所述磁性層設于所述襯底一側,所述底電極設于所述磁性層背離所述襯底的一側,所述絕緣層設于所述底電極背離所述襯底的一側,所述頂電極設于所述絕緣層背離所述襯底的一側。
2.如權利要求1所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述磁性層為范德瓦爾斯金屬性鐵磁體。
3.如權利要求1所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述絕緣層為氧化鎂。
4.如權利要求1所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述底電極和頂電極均為鉻/金電極。
5.如權利要求1所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述磁性層的厚度為10nm-50nm。
6.如權利要求1所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述絕緣層的厚度為10nm-20nm。
7.如權利要求4所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述底電極的厚度為3nm-10nm/20nm-30nm。
8.如權利要求4所述的一種用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件,其特征在于,所述頂電極的厚度為3nm-10nm/40nm-80nm。
9.一種如權利要求1~8任一項所述的用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
S1:提供襯底;
S2:在所述襯底一側形成磁性層;
S3:在所述磁性層背離所述襯底一側形成底電極;
S4:在所述底電極背離所述襯底一側形成絕緣層;
S5:在所述絕緣層背離所述襯底一側形成頂電極。
10.一種如權利要求1~8任一項所述的用于調控金屬性鐵磁體磁性的器件在電場調控金屬性鐵磁體磁性中的應用。
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