[發明專利]切割液及其制備方法

有效

• 申請號: 202210796801.8
• 申請日: 2022-07-06
• 公開（公告）號: CN114989880B
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發明（設計）人: 江文宇
• 申請（專利權）人: 湖南三安半導體有限責任公司
• 主分類號: C10M169/04
• 分類號: C10M169/04;C10M177/00;C10N30/04;C10N30/06
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 顏歡

1.一種切割液，其特征在于，包括液態材料、磨料顆粒以及二維層狀材料，所述磨料顆粒和所述二維層狀材料不溶于所述液態材料并分散于所述液態材料中，所述二維層狀材料為二硫化鉬微片、六方氮化硼微片以及石墨烯微片中的一種或幾種，所述二維層狀材料的厚度尺寸不大于50nm，所述二維層狀材料的片徑為5-15μm。

2.根據權利要求1所述的切割液，其特征在于，所述磨料顆粒為金剛石顆粒。

3.根據權利要求1所述的切割液，其特征在于，所述液態材料為200-聚乙二醇、400-聚乙二醇和600-聚乙二醇中的一種或幾種。

4.根據權利要求1所述的切割液，其特征在于，所述切割液還包括消泡劑，所述消泡劑為聚甲基硅氧烷消泡劑。

5.根據權利要求1所述的切割液，其特征在于，所述磨料顆粒與所述液態材料的配比為0.1-0.2kg/L，和/或，所述磨料顆粒的粒徑為3-10μm。

6.根據權利要求1所述的切割液，其特征在于，所述二維層狀材料與所述液態材料的配比為0.01~0.05kg/L。

7.根據權利要求1所述的切割液，其特征在于，所述切割液的粘度為30-130mPa?s。

8.一種切割液的制備方法，其特征在于，包括提供磨料顆粒、二維層狀材料和液態材料，將所述磨料顆粒和所述二維層狀材料分散于所述液態材料中，所述二維層狀材料為二硫化鉬微片、六方氮化硼微片以及石墨烯微片中的一種或幾種，所述二維層狀材料的厚度尺寸不大于50nm，所述二維層狀材料的片徑為5-15μm。

9.根據權利要求8所述的切割液的制備方法，其特征在于，將所述磨料顆粒和所述二維層狀材料分散于所述液態材料中的步驟，包括：

將所述二維層狀材料和所述磨料顆粒加入所述液態材料中并進行超聲攪拌。

10.根據權利要求9所述的切割液的制備方法，其特征在于，將所述二維層狀材料和所述磨料顆粒加入所述液態材料中并進行超聲攪拌的步驟，包括：

先將所述二維層狀材料加入所述液態材料中并進行超聲攪拌；

再將所述磨料顆粒加入所述液態材料中并進行超聲攪拌。

11.根據權利要求8所述的切割液的制備方法，其特征在于，所述二維層狀材料通過液相剝離法得到。

12.根據權利要求8所述的切割液的制備方法，其特征在于，所述磨料顆粒為金剛石顆粒；

所述液態材料為200-聚乙二醇、400-聚乙二醇和600-聚乙二醇中的一種或幾種。

13.根據權利要求9所述的切割液的制備方法，其特征在于，

將所述二維層狀材料和所述磨料顆粒加入所述液態材料中并進行超聲攪拌的步驟，包括：

將消泡劑與所述液態材料混合，得到液態混合物；

先將所述二維層狀材料加入所述液態混合物中并進行超聲攪拌；

再將所述磨料顆粒加入所述液態混合物中并進行超聲攪拌。