[發(fā)明專(zhuān)利]一種極高真空泵

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210790611.5
• 申請(qǐng)日: 2022-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115059598A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳文星
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 九江市浩軒新能源開(kāi)發(fā)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F04B35/02
• 分類(lèi)號(hào): F04B35/02;F04B37/14;F04B41/06;F04B25/00;F04B39/00;F04B39/10
• 代理公司: 深圳市廣諾專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 44611
• 代理人: 劉波

本發(fā)明公開(kāi)了一種極高真空泵，其包括：第一級(jí)真空組件，所述第一級(jí)真空組件包括：第一級(jí)活塞連桿組件，第一級(jí)雙向伸縮液壓缸，第一級(jí)左泵，第一級(jí)右泵；所述第一級(jí)活塞連桿組件的兩端分別設(shè)置有第一左活塞和第一右活塞，所述第一左活塞和所述第一右活塞之間設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)活塞；所述第一驅(qū)動(dòng)活塞安裝在所述第一級(jí)雙向伸縮液壓缸內(nèi)；所述第一左活塞安裝在所述第一級(jí)左泵內(nèi)；所述第一右活塞安裝在所述第一級(jí)右泵內(nèi)；第二級(jí)真空組件，所述第二級(jí)真空組件可與所述第一級(jí)真空組件的結(jié)構(gòu)一致，所述第一級(jí)真空組件與真空室連接，所述第二級(jí)真空組件與所述第一級(jí)真空組件串聯(lián)并與外界連接；實(shí)現(xiàn)精簡(jiǎn)泵的制作工藝，降低制造成本，并且易于量產(chǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及到真空泵技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及到一種極高真空泵。

背景技術(shù)

在現(xiàn)代工業(yè)和科研領(lǐng)域中都離不開(kāi)高真空環(huán)境，但現(xiàn)有的高端UHV和XHV真空技術(shù)都被國(guó)外壟斷。

現(xiàn)有的真空泵為取得高真空環(huán)境，其制造工藝較為復(fù)雜、成本較高，部分更是難以量產(chǎn)，實(shí)施中的壓縮比不能做得太大。

因此，亟需一種能夠解決以上一種或多種問(wèn)題的極高真空泵。

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的一種或多種問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種極高真空泵。本發(fā)明為解決上述問(wèn)題采用的技術(shù)方案是：一種極高真空泵，其包括：第一級(jí)真空組件，所述第一級(jí)真空組件包括：第一級(jí)活塞連桿組件，第一級(jí)雙向伸縮液壓缸，第一級(jí)左泵，第一級(jí)右泵；

所述第一級(jí)活塞連桿組件的兩端分別設(shè)置有第一左活塞和第一右活塞，所述第一左活塞和所述第一右活塞之間設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)活塞；

所述第一驅(qū)動(dòng)活塞安裝在所述第一級(jí)雙向伸縮液壓缸內(nèi)；

所述第一左活塞安裝在所述第一級(jí)左泵內(nèi)；

所述第一右活塞安裝在所述第一級(jí)右泵內(nèi)；

所述第一級(jí)雙向伸縮液壓缸、所述第一級(jí)左泵、所述第一級(jí)右泵的中心軸在同一水平線上；

所述第一級(jí)左泵和所述第一級(jí)右泵均設(shè)置有第一通氣孔組，所述第一通氣孔組至少包括：第一通氣孔和第二通氣孔，所述第一通氣孔組內(nèi)設(shè)置有控制閥門(mén)，所述控制閥門(mén)用于控制通氣孔的啟閉；

真空室，所述真空室與所述第一通氣孔連接；

第二級(jí)真空組件，所述第二級(jí)真空組件至少設(shè)置有一個(gè)，所述第二級(jí)真空組件包括：第二級(jí)活塞連桿組件，第二級(jí)雙向伸縮液壓缸，第二級(jí)左泵，第二級(jí)右泵；

所述第二級(jí)活塞連桿組件的兩端分別設(shè)置有第二左活塞和第二右活塞，所述第二左活塞和所述第二右活塞之間設(shè)置有第二驅(qū)動(dòng)活塞；

所述第二驅(qū)動(dòng)活塞安裝在所述第二級(jí)雙向伸縮液壓缸內(nèi)；

所述第二左活塞安裝在所述第二級(jí)左泵內(nèi)；

所述第二右活塞安裝在所述第二級(jí)右泵內(nèi)；

所述第二級(jí)雙向伸縮液壓缸、所述第二級(jí)左泵、所述第二級(jí)右泵的中心軸在同一水平線上；

所述第二級(jí)左泵和所述第二級(jí)右泵均設(shè)置有第二通氣孔組，所述第二通氣孔組至少包括：第三通氣孔和第四通氣孔，所述第二通氣孔組內(nèi)設(shè)置有所述控制閥門(mén)；

所述第三通氣孔與所述第二通氣孔連接，所述第四通氣孔與下一級(jí)真空組件或出氣口連接；

液壓驅(qū)動(dòng)組件，所述液壓驅(qū)動(dòng)組件與所述第一、二級(jí)雙向伸縮液壓缸連接，所述液壓驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述第一、二驅(qū)動(dòng)活塞進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述第一通氣孔、所述第二通氣孔、所述第三通氣孔、所述第四通氣孔至少設(shè)置有一個(gè)。

進(jìn)一步地，所述第一左泵與所述第一右泵對(duì)稱設(shè)置，所述第二左泵與所述第二右泵對(duì)稱設(shè)置。